安徽奥飞声学科技有限公司李冠华获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽奥飞声学科技有限公司申请的专利一种压电MEMS扬声器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115706905B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110895037.5，技术领域涉及：H04R19/02；该发明授权一种压电MEMS扬声器是由李冠华;刘端设计研发完成，并于2021-08-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种压电MEMS扬声器在说明书摘要公布了：本申请公开了一种压电MEMS扬声器，包括：衬底，具有空腔；振动支撑层，形成在所述衬底上方并且覆盖所述空腔；第一电极层，形成在所述振动支撑层上方；压电层，形成在所述第一电极层上方；第二电极层，形成在所述压电层上方；其中，第一凹槽从所述第二电极层的上表面延伸至所述振动支撑层的上表面并露出所述振动支撑层，露出的所述振动支撑层具有第二凹槽，所述第二凹槽从所述振动支撑层的上表面延伸至所述振动支撑层的下表面。本申请所提供的压电MEMS扬声器结构分为两部分，分别为高音扬声器的边缘部分和低音扬声器的中心部分，以及连接二者的镂空的振动支撑层，从而提高了整个频率段的听觉效果。
本发明授权一种压电MEMS扬声器在权利要求书中公布了：1.一种压电MEMS扬声器，其特征在于，包括： 衬底，具有空腔； 振动支撑层，形成在所述衬底上方并且覆盖所述空腔； 第一电极层，形成在所述振动支撑层上方； 压电层，形成在所述第一电极层上方； 第二电极层，形成在所述压电层上方； 其中，第一凹槽从所述第二电极层的上表面延伸至所述振动支撑层的上表面并露出所述振动支撑层，露出的所述振动支撑层具有第二凹槽，所述第二凹槽从所述振动支撑层的上表面延伸至所述振动支撑层的下表面； 其中，所述第二凹槽与所述空腔连通，通过在振动支撑层上设置第二凹槽，以形成镂空的振动支撑层； 其中，从俯视角度看，所述第一凹槽呈环形，所述第一凹槽的投影区域在所述空腔的投影区域内，所述第一凹槽将所述第一电极层、所述压电层和所述第二电极层分割成中心部分和边缘部分，露出的所述振动支撑层连接所述中心部分和所述边缘部分。
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