南京信息职业技术学院赵燕获国家专利权
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龙图腾网获悉南京信息职业技术学院申请的专利一种超滑硅表面及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115506031B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211200783.9，技术领域涉及：C30B33/10；该发明授权一种超滑硅表面及其制备方法是由赵燕;陈赛男;陈施晨;胡柏宇;胡瀛洲;熊江勇;段付德设计研发完成，并于2022-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超滑硅表面及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种超滑表面制备技术领域的超滑硅表面及其制备方法，旨在解决现有技术中制备工艺复杂、成本高昂、对材料要求高等问题，制备方法包括以下步骤：利用金属催化刻蚀工艺制得具有粗糙表面的硅基体、对硅基体进行疏水化修饰、将润滑剂滴加至修饰完成后的硅基体表面，直至其粗糙表面被润滑剂完全覆盖，接着将硅基体倾斜10~90°静置，即得超滑硅表面。本发明制备方法操作简单易行，成本低廉，适合大规模制备应用。
本发明授权一种超滑硅表面及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种超滑硅表面的制备方法，其特征在于：包括以下步骤， 利用金属催化刻蚀工艺制得具有粗糙表面的硅基体； 对硅基体进行疏水化修饰； 将润滑剂滴加至修饰完成后的硅基体表面，直至其粗糙表面被润滑剂完全覆盖，将硅基体倾斜静置，去除硅基体表面多余的润滑剂，即得超滑硅表面； 其中，金属催化刻蚀工艺包括： 将硅片依次浸入丙酮和乙醇的混合溶液及去离子水中进行超声清洗，吹干； 将干燥的硅片浸入酸性金属催化刻蚀液中进行刻蚀，刻蚀完成后浸入清洗液中清洗以去除硅基体表面沉积的金属颗粒，再用去离子水清洗后吹干，即得具有粗糙表面的硅基体，所述酸性金属催化刻蚀液包括催化金属离子、氧化剂、氢氟酸和去离子水；所述刻蚀温度范围为20~60℃，刻蚀时间范围为1~30min。
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