应用材料公司欧岳生获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于减少预清洁腔室中的缺陷的方法和设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115461851B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180029566.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于减少预清洁腔室中的缺陷的方法和设备是由欧岳生;和田优一;魏俊琪;张康;阿南塔克里希纳·朱普迪;萨拉·巴布;张国祥;陈国威设计研发完成，并于2021-04-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于减少预清洁腔室中的缺陷的方法和设备在说明书摘要公布了：设备和方法使用独特的处理配件来保护处理腔室的处理空间。处理配件包括：具有框架的屏蔽件，框架被构造成可插入屏蔽件；以及箔衬垫，由金属材料构成，箔衬垫可在确定点处附接到框架。确定的附接点间隔开以产生基于金属材料的延展性的一定柔性量。柔性量的范围从大约2.5到大约4.5。
本发明授权用于减少预清洁腔室中的缺陷的方法和设备在权利要求书中公布了：1.一种用于保护处理腔室的处理空间的设备，包括： 框架，被构造成可插入到处理配件屏蔽件中；以及 箔衬垫，由金属材料构成，所述箔衬垫在多个确定点处点焊到所述框架并且具有2.5到4.5的每GPa的柔性量，其中所述柔性量由f＝Lt·E确定，其中f是所述柔性量，L是所述多个确定点的间隔的距离，t是所述箔衬垫的厚度，并且E是所述金属材料的弹性模量。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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