中北大学刘俊获国家专利权
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龙图腾网获悉中北大学申请的专利一种原子力探针针尖修正系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115407089B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211112416.3,技术领域涉及:G01Q60/38;该发明授权一种原子力探针针尖修正系统是由刘俊;马宗敏;唐军;温焕飞;石云波;刘晓雅;方向前;温阳;陈纵横设计研发完成,并于2022-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种原子力探针针尖修正系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种原子力探针针尖修正系统,涉及原子力显微镜技术领域,包括:探针偏转检测装置、探针起振压电装置、横纵向力生成装置、针尖模型解析器、探针修正控制器、脉冲冲击修正装置、原子力修正装置、压电扫描器和修正标准装置;待修正探针反射的激光依次经过探针偏转检测装置、探针起振压电装置、横纵向力生成装置和针尖模型解析器,确定针尖附着物的尺寸和方位;探针修正控制器根据针尖附着物的尺寸和方位产生启动信号,通过脉冲冲击修正装置或原子力修正装置,使得针尖附着物从待修正探针上转移到修正标准装置上,实现待修正探针的针尖修正。本发明实现了探针的修正。
本发明授权一种原子力探针针尖修正系统在权利要求书中公布了:1.一种原子力探针针尖修正系统,其特征在于,包括:探针偏转检测装置、探针起振压电装置、横纵向力生成装置、针尖模型解析器、探针修正控制器、脉冲冲击修正装置、原子力修正装置、压电扫描器和修正标准装置; 探针偏转检测装置、横纵向力生成装置、针尖模型解析器和探针修正控制器依次连接,横纵向力生成装置与探针修正控制器连接; 探针修正控制器分别与脉冲冲击修正装置和原子力修正装置连接,脉冲冲击修正装置和原子力修正装置均与压电扫描器连接,压电扫描器上设置修正标准装置,探针起振压电装置上设置待修正探针; 探针偏转检测装置用于发出激光,根据待修正探针反射的激光产生横向电压偏移信号和纵向电压偏移信号; 横纵向力生成装置用于根据横向电压偏移信号和第一参考信号产生横向力,根据纵向电压偏移信号和第二参考信号产生纵向力;第一参考信号和第二参考信号均为与待修正探针的共振频率相同的正弦波信号; 针尖模型解析器用于根据横向力和纵向力确定针尖附着物的尺寸和方位; 探针修正控制器用于: 根据针尖附着物的尺寸和方位确定修正方式,并产生启动信号;修正方式包括脉冲冲击修正和原子力修正; 将纵向力发送至脉冲冲击修正装置和原子力修正装置; 脉冲冲击修正装置用于当修正方式为脉冲冲击修正时,根据启动信号和纵向力控制压电扫描器移动,使得修正标准装置处于待修正探针的下方;在探针起振压电装置起振时,产生调控脉冲,调节待修正探针与修正标准装置间的电场,使得针尖附着物从待修正探针上转移到修正标准装置上,实现待修正探针的针尖修正; 原子力修正装置用于当修正方式为原子力修正时,根据启动信号和纵向力控制压电扫描器产生带有偏置的水平圆周运动,控制调节修正标准装置和待修正探针间的竖直距离,使得针尖附着物从待修正探针上转移到修正标准装置上,从而实现待修正探针的针尖修正。
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