隆基绿能科技股份有限公司薛通获国家专利权
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龙图腾网获悉隆基绿能科技股份有限公司申请的专利一种烘干设备及其烘箱获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115265107B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110499416.2，技术领域涉及：F26B9/06；该发明授权一种烘干设备及其烘箱是由薛通;成路;迪大明;鲁战锋;张珊;任新刚设计研发完成，并于2021-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种烘干设备及其烘箱在说明书摘要公布了：本发明公开一种烘干设备及其烘箱，涉及硅片制造技术领域，以解决现硅片烘干工序中，由于风速不均匀导致硅片出现湿片、烘干时间长以及烘干能耗高的问题。所述烘箱用于烘干硅片，硅片沿第一方向设置于烘箱内；烘箱包括：箱体；硅片通过承插在限位件并容置于箱体内；箱体上设有第一进风口和出风口；第一进风口沿第一方向延伸；烘箱在使用状态下，通过第一进风口至少向限位件承插硅片的位置输送烘干介质。所述烘干设备包括上述技术方案所提的烘箱。
本发明授权一种烘干设备及其烘箱在权利要求书中公布了：1.一种烘箱，所述烘箱用于烘干硅片，其特征在于，所述硅片沿第一方向设置于所述烘箱内； 所述烘箱包括：箱体；所述硅片通过承插在限位件并容置于所述箱体内；所述箱体上设有第一进风口和出风口； 所述第一进风口沿第一方向延伸；所述烘箱在使用状态下，通过所述第一进风口至少向所述限位件承插所述硅片的位置输送烘干介质； 所述出风口开设在所述箱体的底面和或靠近所述底面的侧面，所述箱体靠近所述出风口一侧的截面小于靠近所述第一进风口一侧的截面； 所述烘箱还包括开设在所述箱体上的第二进风口，所述第二进风口沿所述第一方向或第二方向延伸，所述第二方向与所述第一方向成第一预设夹角，所述第一预设夹角为80°至100°；所述烘箱在使用状态下，通过所述第二进风口向所述硅片输送烘干介质； 所述第一进风口和第二进风口均开设在所述箱体的顶部。
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