深圳中科飞测科技股份有限公司陈鲁获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利缺陷检测方法和缺陷检测装置及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115222699B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210853605.X，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权缺陷检测方法和缺陷检测装置及系统是由陈鲁;吕肃;刘欢敏;张嵩设计研发完成，并于2022-07-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本缺陷检测方法和缺陷检测装置及系统在说明书摘要公布了：本发明实施例公开的缺陷检测方法例如包括：获取初始待测图像；获取所述初始待测图像在目标旋转角度下对应的目标检测图像的信号强度分布数据集；根据所述信号强度分布数据集确定所述目标检测图像的第一缺陷信息；根据所述第一缺陷信息、所述目标旋转角度和所述信号强度分布数据集确定所述初始待测图像上的缺陷特征信息。本发明实施例公开的缺陷检测方法能提高晶圆缺陷检测的准确率。
本发明授权缺陷检测方法和缺陷检测装置及系统在权利要求书中公布了：1.一种缺陷检测方法，其特征在于，包括： 获取初始待测图像； 获取所述初始待测图像在目标旋转角度下对应的目标检测图像的信号强度分布数据集； 根据所述信号强度分布数据集确定所述目标检测图像的第一缺陷信息； 根据所述第一缺陷信息、所述目标旋转角度和所述信号强度分布数据集确定所述初始待测图像上的缺陷特征信息； 其中，所述信号强度分布数据集包括多个强度分布数据，每个所述强度分布数据包括位置数据和强度数据，所述获取所述初始待测图像在目标旋转角度下对应的目标检测图像的信号强度分布数据集，包括： 获取所述初始待测图像在目标旋转角度下对应的所述目标检测图像； 沿预设方向对所述目标检测图像的像素点进行分析得到所述多个强度分布数据，所述多个强度分布数据与所述目标检测图像在所述预设方向上的所述像素点一一对应，包括：获取所述目标检测图像上的目标行上全部像素点的像素值； 根据所述像素值计算所述目标行对应的所述强度分布数据的强度数据； 以所述目标行的行位置为所述目标行对应的所述强度分布数据的位置数据。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳中科飞测科技股份有限公司，其通讯地址为：518110 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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