细美事有限公司金周援获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利用于处理基板的装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114649240B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111569043.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于处理基板的装置是由金周援;徐准浩;朴崠云;尹相弼设计研发完成，并于2021-12-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于处理基板的装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于处理基板的装置，该装置包括：具有内部空间的处理容器；在内部空间支承并且旋转基板的支承单元；排放内部空间中的气流的排放单元，其中处理容器包括提供内部空间的外部杯状物；以及设置在内部空间处并与外部杯状物间隔开的内部杯状物，并且其中外部杯状物在其侧部壁处具有突起。
本发明授权用于处理基板的装置在权利要求书中公布了：1.一种用于处理基板的装置，所述装置包括： 处理容器，所述处理容器具有内部空间； 支承单元，所述支承单元在所述内部空间中支承并且旋转所述基板；以及 排放单元，所述排放单元排放所述内部空间中的气流， 其中，所述处理容器包括： 外部杯状物，所述外部杯状物提供所述内部空间；以及 内部杯状物，所述内部杯状物设置在所述内部空间处并且与所述外部杯状物间隔开， 所述外部杯状物包括： 底部壁； 侧部壁，所述侧部壁从所述底部壁的外部边缘向上延伸；以及 顶部壁，所述顶部壁从所述侧部壁向内延伸， 所述内部杯状物包括： 与所述外部杯状物的所述侧部壁相对的外部壁； 与所述外部壁相反的内部壁；以及 连接所述外部壁和所述内部壁的顶部壁，以及 所述排放单元包括： 排放管，所述排放管设置在所述内部杯状物的内侧中；以及 压力调节构件，所述压力调节构件强制排放在所述内部空间内的气流， 其中，所述外部杯状物包括设置在所述侧部壁处的突起，所述突起朝向所述内部杯状物的所述外部壁突出，并且 第一通道形成在所述突起与所述内部杯状物的所述外部壁之间，第二通道形成在所述内部杯状物的所述外部壁与所述排放单元之间，并且所述第一通道的宽度和所述第二通道的宽度设置为相等。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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