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株式会社日立高新技术本美元伸获国家专利权

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龙图腾网获悉株式会社日立高新技术申请的专利带电粒子束装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114628210B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111170047.9,技术领域涉及:H01J37/28;该发明授权带电粒子束装置是由本美元伸;山口聪;酒井计;西滨宽设计研发完成,并于2021-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。

带电粒子束装置在说明书摘要公布了:本发明提供一种带电粒子束装置,其能够抑制数据量的增大,并且缩短方案评价所需的时间。带电粒子束装置具有:显微镜,其对试样扫描带电粒子束,检测从试样释放出的2次粒子来输出检测信号;以及计算机系统,其根据检测信号生成帧图像,进行基于帧图像的图像处理。计算机系统计算多个帧图像间的矩图像,并基于矩图像计算帧图像的特征量数据。

本发明授权带电粒子束装置在权利要求书中公布了:1.一种带电粒子束装置,其特征在于,具备: 显微镜,其对试样扫描带电粒子束,检测从试样释放出的2次粒子来输出检测信号;以及 计算机系统,其根据所述检测信号生成帧图像,并进行基于所述帧图像的图像处理, 所述计算机系统计算多个所述帧图像间的矩图像,并基于所述矩图像计算所述帧图像的特征量数据,所述特征量数据包含平均、方差、偏度和峰度, 所述计算机系统根据通过如下所示的式1~4分别计算出的多个所述帧图像的1次方平均图像~4次方平均图像,来计算由如下所示的式5~8来表示的多个所述帧图像的1阶矩图像~4阶矩图像: Img1[i,j]=1N×Σ{k=1,…,N}帧图像k[i,j]…式1, Img2[i,j]=1N×∑{k=1,…,N}帧图像k[i,j]2…式2, Img3[i,j]=1N×∑{k=1,…,N}帧图像k[i,j]3…式3, Img4[i,j]=1N×∑{k=1,…,N}帧图像k[i,j]4…式4, 1阶矩图像[i,j]=<Img1>[i,j]…式5, 2阶矩图像[i,j]=<Img2>[i,j]﹣<Img1>[i,j]2…式6, 3阶矩图像[i,j]=Img3[i,j]﹣3Img2[i,j]×Img1[i,j]+2Img1[i,j]3…式7, 4阶矩图像[i,j]=Img4[i,j]﹣4×Img3[i,j]×Img1[i,j]+6×Img2[i,j]×Img1[i,j]2﹣3Img1[i,j]4…式8, 在上述式1~8中,[i,j]表示所述帧图像上的像素位置,N表示所述帧图像的数量,帧图像k表示第k帧的帧图像, 所述计算机系统通过使用所述特征量数据,并且通过使用遵循标准偏差图像的分布的多个随机数图像,来生成白噪声不同的多个模拟图像,并且使用所述模拟图像来进行方案评价。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人株式会社日立高新技术,其通讯地址为:日本东京都;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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