罗伯特·博世有限公司D·斯霍尔滕获国家专利权
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龙图腾网获悉罗伯特·博世有限公司申请的专利沟槽式晶体管获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114600254B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080074240.X,技术领域涉及:H10D30/66;该发明授权沟槽式晶体管是由D·斯霍尔滕;K·埃耶斯;W·法伊勒;S·施魏格尔;J-H·阿尔斯迈尔;C·T·班茨哈夫设计研发完成,并于2020-08-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本沟槽式晶体管在说明书摘要公布了:提供一种沟槽式晶体管100,其具有:半导体区2,构造在所述半导体区2中的沟槽结构1,在所述沟槽结构1中的、栅极绝缘层3,4和构造在所述栅极绝缘层3,4中的导电的栅极层5,和与在所述沟槽式晶体管100的边缘区域7a中的栅极层5导电地连接的栅极接触部6,其中,所述栅极绝缘层3,4的厚度8在所述沟槽式晶体管100的边缘区域7a中比在所述沟槽式晶体管100的有源的区域7b中更大。
本发明授权沟槽式晶体管在权利要求书中公布了:1.一种沟槽式晶体管100,其具有: 半导体区2; 构造在所述半导体区2中的沟槽结构1; 在所述沟槽结构1中的栅极绝缘层3,4和导电的栅极层5,所述导电的栅极层构造在所述栅极绝缘层3,4上;和 栅极接触部6,所述栅极接触部与在所述沟槽式晶体管100的边缘区域7a中的栅极层5导电地连接, 其中,所述栅极绝缘层3,4的厚度8在所述沟槽式晶体管100的边缘区域7a中比在所述沟槽式晶体管100的有源的区域7b中更大, 其中,所述沟槽结构10a,10b的宽度21从所述沟槽式晶体管500的有源的区域19a朝向所述沟槽晶体管500的边缘区域19b地连续增加。
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