江西兆驰半导体有限公司胡加辉获国家专利权
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龙图腾网获悉江西兆驰半导体有限公司申请的专利一种LED外延片、外延生长方法及LED芯片获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114551666B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210098692.2,技术领域涉及:H10H20/812;该发明授权一种LED外延片、外延生长方法及LED芯片是由胡加辉;刘春杨;金从龙;顾伟设计研发完成,并于2022-01-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种LED外延片、外延生长方法及LED芯片在说明书摘要公布了:本发明提供一种LED外延片、外延生长方法及LED芯片,LED外延片包括缓冲层,缓冲层由AlAlNNH3超晶格层和沉积于AlAlNNH3超晶格层上的AlAlNH2超晶格层组成,其中,AlAlNNH3超晶格层是由Al子层、AlN子层、NH3子层循环交替生长而成的周期性结构,AlAlNH2超晶格层是由Al子层、AlN子层、H2子层循环交替生长而成的周期性结构。由于AlAlNNH3超晶格层以三维模式生长,AlAlNH2超晶格层以二维模式生长,通过覆盖上述已生长的三维状AlAlN超晶格层,可以获得比较平坦的外延层,解决了现有紫外发光二极管中外延生长的晶体质量较差的问题。
本发明授权一种LED外延片、外延生长方法及LED芯片在权利要求书中公布了:1.一种LED外延片,其特征在于,包括缓冲层,所述缓冲层由AlAlNNH3超晶格层和AlAlNH2超晶格层组成,且所述AlAlNH2超晶格层沉积于所述AlAlNNH3超晶格层上; 其中,所述AlAlNNH3超晶格层是由Al子层、AlN子层、NH3子层循环交替生长而成的周期性结构,所述AlAlNH2超晶格层是由所述Al子层、所述AlN子层、H2子层循环交替生长而成的周期性结构; AlAlNNH3超晶格层以三维模式生长,AlAlNH2超晶格层以二维模式生长,AlAlNNH3超晶格层ⅤⅢ比的摩尔比范围为2000~4000之间,AlAlNH2超晶格层ⅤⅢ比的摩尔比范围为50~500之间。
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