EV 集团 E·索尔纳有限责任公司J·伯格格拉夫获国家专利权
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龙图腾网获悉EV 集团 E·索尔纳有限责任公司申请的专利用于连接基板的装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114514600B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980101336.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于连接基板的装置及方法是由J·伯格格拉夫设计研发完成，并于2019-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于连接基板的装置及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于在基板2o，2u的接触表面17u、17o处将所述第一基板2o连接至所述第二基板2u的方法，所述方法具有以下步骤，特别是以下流程：将所述第一基板2o安装在第一基板固持器1o的第一安装表面18o上并且将所述第二基板2u安装在第二基板固持器1u的第二安装表面18u上，其中所述基板固持器1o、1u布置在室3中，在连接起始表面10处接触所述接触表面17u、17o，从所述连接起始表面10至所述基板2o、2u的中心将所述第一基板2o连接至所述第二基板2u。此外本发明涉及一种对应的装置。
本发明授权用于连接基板的装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种用于在第一基板2o和第二基板2u的接触表面17u、17o处将所述第一基板2o连接至所述第二基板2u的方法，所述方法具有以下步骤： 将所述第一基板2o安装在第一基板固持器1o的第一安装表面18o上并且将所述第二基板2u安装在第二基板固持器1u的第二安装表面18u上，其中所述基板固持器1o、1u布置在室3中， 在所述基板的安装和或对准之前和或期间对所述室进行抽空， 在连接起始表面10处接触所述接触表面17u、17o，其中进行环形接触， 从所述连接起始表面10至所述基板2o、2u的中心将所述第一基板2o连接至所述第二基板2u，并且 在以下情况下增加所述室中的室压力： i在所述连接起始表面处接触第一和第二基板的相应接触表面之后，和或 ii在将所述第一基板连接至所述第二基板期间。
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