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龙图腾网获悉应用材料公司;新加坡国立大学申请的专利改进金刚石膜的摩擦学特性获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114503241B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180002988.3，技术领域涉及：H01L21/033；该发明授权改进金刚石膜的摩擦学特性是由维克内什·萨穆加纳坦;顾继腾;E·文卡塔苏布拉曼尼亚;罗建平;阿布海杰特·巴苏·马利克;约翰·苏迪约诺;陈中兴设计研发完成，并于2021-08-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本改进金刚石膜的摩擦学特性在说明书摘要公布了：描述制造集成电路的方法。纳米结晶金刚石代替非晶碳被用作硬模。提供处理基板的方法，其中纳米结晶金刚石被用作硬模，其中处理方法产生光滑表面。所述方法涉及两个处理部分。两个单独的纳米结晶金刚石配方组合，即，第一配方和第二配方循环以达成具有高硬度、高模量和光滑表面的纳米结晶金刚石硬模。在其他多个实施方式中，在所述第一配方之后是惰性气体等离子体平滑工艺并且随后所述第一配方被循环以达成高硬度、高模量和光滑的表面。

本发明授权改进金刚石膜的摩擦学特性在权利要求书中公布了：1.一种处理方法，包括： 在具有大于5托的压强的第一空间中递送包括甲烷和二氧化碳的第一沉积气体并激活所述第一沉积气体； 在具有在0.1托与5托之间的压强的第二空间中递送被激活的所述第一沉积气体，其中被激活的所述第一沉积气体的流动速率在2sccm至10sccm的范围； 使用在2kW到12kW范围内的微波功率、0.1托到1托的压强和500℃到650℃的温度来在基板上沉积第一纳米结晶金刚石层，所述第一纳米结晶金刚石层具有第一厚度、第一粗糙度、第一硬度和第一模量； 在具有大于5托的压强的所述第一空间中递送包括甲烷、二氧化碳及氩气的第二沉积气体并激活所述第二沉积气体； 在具有在0.1托与5托之间的压强的所述第二空间中递送被激活的所述第二沉积气体，其中被激活的所述第二沉积气体包括流动速率在2sccm至10sccm范围的甲烷、流动速率在2sccm至10sccm范围的二氧化碳以及流动速率在2sccm至90sccm范围的氩气；及 使用在2kW到12kW范围内的微波功率、10%到90%的脉冲、0.1托到1托的压强和500℃到650℃的温度来在所述第一纳米结晶金刚石层上沉积第二纳米结晶金刚石层，所述第二纳米结晶金刚石层具有第二厚度和第二粗糙度， 其中所述第一厚度大于所述第二厚度，并且所述第二粗糙度小于所述第一粗糙度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人应用材料公司;新加坡国立大学，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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