栗田工业株式会社饭野秀章获国家专利权
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龙图腾网获悉栗田工业株式会社申请的专利稀药液供给装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114365269B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080063077.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权稀药液供给装置是由饭野秀章设计研发完成，并于2020-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本稀药液供给装置在说明书摘要公布了：稀药液供给装置1包括：调制稀药液W1的稀药液调制部2；所调制的稀药液的贮存槽3；将贮存于该贮存槽3的稀药液W1作为清洗水W2，向多台单张式清洗机5A、5B、5C供给的稀药液调节供给机构4；以及分别与单张式清洗机5A、5B、5C连接并将该单张式清洗机的剩余水回流至贮存槽3的回送机构。如果是这样的稀药液供给装置，则能高精度地调节稀药液的溶质浓度，且能够抑制剩余水的排出，适用于晶片等的清洗。
本发明授权稀药液供给装置在权利要求书中公布了：1.一种稀药液供给装置，其中， 具备： 稀药液制造部，具有超纯水供给源、以贮存药液的方式构成的至少一个药液罐、至少一个药液泵，通过相对于超纯水的流量添加规定量的所述药液，以制造该药液的规定浓度的稀药液； 贮存槽，贮存所制造的该稀药液； 稀药液生成流路，构成为与所述超纯水供给源、所述至少一个药液泵以及所述贮存槽连通； 稀药液供给机构，具有送液泵及供给流路，将所述稀药液向使用点供给；以及 回送机构，具备将所述使用点处的剩余的稀药液回送至所述贮存槽的回送配管和设置于该回送配管的中途的所述药液的浓度检测机构， 在所述贮存槽设置有构成为与所述稀药液制造部连通的排出流路。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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