东京毅力科创株式会社杉本贵史获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利加热装置和加热方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114256097B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111073516.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权加热装置和加热方法是由杉本贵史;高桥裕之;冈野真也设计研发完成，并于2021-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本加热装置和加热方法在说明书摘要公布了：本发明提供加热装置和加热方法，即使在使用输出功率小的电源的情况下，也能够用来自发光元件的光对基片进行加热。加热基片的加热装置包括：支承基片的支承部；和光照射单元，其通过照射光来加热支承于上述支承部的基片，上述光照射单元被设定多个区块，按各上述区块，对支承于上述支承部的基片的一个面的彼此不同的部分照射光，在由上述光照射单元进行加热时，多个上述区块中所使用的上述区块为一部分并依次被切换。
本发明授权加热装置和加热方法在权利要求书中公布了：1.一种加热基片的加热装置，其特征在于，包括： 支承基片的支承部； 光照射单元，其通过照射光来加热支承于所述支承部的基片； 保温板，其设置在所述基片与所述光照射单元之间的位置，形成有供所述光通过的开口，所述保温板抑制所述基片中的没有成为所述光照射单元的加热对象的部分的温度下降；和 构成为能够使所述保温板旋转的旋转机构， 所述光照射单元被设定沿周向排列的多个区块，按各所述区块，对支承于所述支承部的基片的一个面的彼此不同的部分照射光， 在由所述光照射单元进行加热时，加热中所使用的加热用区块为所述多个区块的一部分并沿所述周向依次被切换， 所述旋转机构以所述保温板的所述开口与所述加热用区块总是相对，并且所述保温板中的没有形成所述开口的部分覆盖所述基片中的没有成为所述光照射单元的加热对象的部分的方式，使所述保温板与该切换同步地旋转。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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