可尔HW半导体公司马库斯·哈卡莫获国家专利权
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龙图腾网获悉可尔HW半导体公司申请的专利电容器结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114097101B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080047047.7,技术领域涉及:H10D1/68;该发明授权电容器结构是由马库斯·哈卡莫;托米-佩卡·塔卡洛;彼得里·科蒂莱宁;彼得里·海利厄;塔皮奥·库伊里设计研发完成,并于2020-06-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本电容器结构在说明书摘要公布了:本发明涉及一种电容器结构及制造此类电容器结构的方法,电容器结构被实施为包含复数个交替的介电层和金属化层的分层结构。电容器结构包括至少一个侧向平行板电容器部分LPP部分和至少一个垂直平行板电容器部分VPP部分,所述至少一个LPP部分包括由复数所述交替的层之介电材料分隔的在两个不同的层上的两个第一电极,所述至少一个VPP部分包括两个第二电极,每个第二电极包含布置在复数个所述金属化层上的复数个叠置的平板或条。所述至少一个LPP部分与所述至少一个VPP部分电耦接以形成该电容器结构。由于介电材料之一厚度变化引起的所述至少一个LPP部分之一电容值变化至少部分地通过所述至少一个VPP部分之一的电容值的相反变化来补偿。
本发明授权电容器结构在权利要求书中公布了:1.一种电容器结构,其被实施为包括复数个交替的介电层和金属化层的分层结构,所述金属化层包括金属图案和介电材料, 其中,所述电容器结构包括: 至少一个侧向平行板电容器部分LPP部分,所述至少一个LPP部分包括两个基本上平行的第一电极,所述两个第一电极由所述金属化层中的两个金属化层中的金属图案形成,所述两个第一电极由复数个所述交替的层的介电材料彼此分隔,和 至少一个垂直平行板电容器部分VPP部分,所述至少一个VPP部分包括两个第二电极,每个第二电极包括复数个叠置的平板或条,每个叠置的平板或条在所述金属化层之一中图案化,其中,每个第二电极的所述复数个叠置的平板或条通过通孔彼此电耦接,以及 耦接至所述至少一个VPP部分的第一电触点和第二电触点,其中,所述至少一个VPP部分中的所述两个第二电极中的每个耦接至所述第一电触点和所述第二电触点之一, 其特征在于,所述至少一个LPP部分经由所述第一电触点和所述第二电触点中至少之一与所述至少一个VPP部分电耦接以形成所述电容器结构,以及其中,由于在分隔所述两个第一电极的所述复数个交替的层中的至少一层中的介电材料的厚度变化所导致的所述至少一个LPP部分的电容值的变化而引起的所述电容器结构的电容值的变化至少部分地通过所述至少一个VPP部分的电容值的变化所引起的所述电容器结构的电容值的相反变化来补偿,其中,在分隔所述两个第一电极的所述复数个交替的层中的所述至少一层中的所述介电材料的厚度变化导致在垂直维度上所述两个第一电极之间的距离相对于标称值的差,所述至少一个VPP部分的电容值的变化由于所述复数个交替的层中的所述至少一层中的所述介电材料的厚度变化导致所述两个第二电极在垂直维度上的宽度相对于标称值的差而引起,以及所述至少一个VPP部分与所述至少一个LPP部分分离。
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