杰宜斯科技有限公司朴芝镐获国家专利权
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龙图腾网获悉杰宜斯科技有限公司申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114093788B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110688204.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置是由朴芝镐;孔云设计研发完成，并于2021-06-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基板处理装置，包括：旋转卡盘，以能够旋转的方式设置于杯形壳体的内部，并用于搭载基板；喷嘴操作台部，以能够旋转的方式设置于旋转卡盘的内部；引导部，设置于喷嘴操作台部的内部；移动模块，以能够移动的方式设置于引导部；引导臂部，与移动模块连接，并支承流体供给管线部；下部喷嘴部，以与移动模块一同移动的方式与引导臂部结合，并与流体供给管线部连接；驱动轴部，与旋转卡盘和喷嘴操作台部连接，以使旋转卡盘和喷嘴操作台部进行旋转；移动轴部，以能够旋转的方式设置于驱动轴部的内部，并与移动模块连接，以使移动模块进行移动；以及驱动部，与驱动轴部和移动轴部连接，以使驱动轴部和移动轴部驱动。
本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，包括： 旋转卡盘，以能够旋转的方式设置于杯形壳体的内部，并且供基板搭载； 喷嘴操作台部，以能够旋转的方式设置于所述旋转卡盘的内部； 引导部，设置于所述喷嘴操作台部的内部； 移动模块，以能够移动的方式设置于所述引导部； 引导臂部，与所述移动模块连接，并且支承流体供给管线部； 下部喷嘴部，以与所述移动模块一同移动的方式与所述引导臂部结合，并且所述下部喷嘴部与所述流体供给管线部连接； 驱动轴部，与所述旋转卡盘和所述喷嘴操作台部连接，以使所述旋转卡盘和所述喷嘴操作台部进行旋转； 移动轴部，以能够旋转的方式设置于所述驱动轴部的内部，并且所述移动轴部与所述移动模块连接，以使所述移动模块进行移动；以及 驱动部，与所述驱动轴部和所述移动轴部连接，以使所述驱动轴部和所述移动轴部驱动， 其中，所述引导部包括以横穿所述喷嘴操作台部的内部的方式配置的导轨部。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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