华海清科股份有限公司许振杰获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利一种抛光液落点测量装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113977450B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111533314.4，技术领域涉及：B24B37/005；该发明授权一种抛光液落点测量装置是由许振杰;梁清波设计研发完成，并于2021-12-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种抛光液落点测量装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种抛光液落点测量装置，其包括固定座、水平板和定位件，所述固定座用于可拆卸地设置于化学机械抛光设备的抛光盘的外周壁，所述水平板连接于所述固定座的顶部并朝抛光盘的中心延伸，所述定位件设置于所述固定座的侧部并位于水平板之下；所述定位件的内侧壁为与抛光垫的外径相匹配的圆弧结构；抛光液落至所述水平板的上表面，水平板的上表面设置有刻度线以量测抛光液的滴落位置；其中，所述水平板的上表面形成为亲水或超亲水表面，以防止滴落在其表面的抛光液形成液珠在惯性作用下移动。
本发明授权一种抛光液落点测量装置在权利要求书中公布了：1.一种抛光液落点测量装置，其特征在于，包括固定座、水平板和定位件，所述固定座用于可拆卸地设置于化学机械抛光设备的抛光盘的外周壁，所述水平板连接于所述固定座的顶部并朝抛光盘的中心延伸，所述定位件设置于所述固定座的侧部并位于水平板之下；所述定位件的内侧壁为与抛光垫的外径相匹配的圆弧结构；抛光液落至所述水平板的上表面，水平板的上表面设置有刻度线以量测抛光液的滴落位置； 其中，所述水平板的上表面形成为亲水或超亲水表面，以防止滴落在其表面的抛光液形成液珠在惯性作用下移动；所述水平板的下表面与抛光垫的上表面之间的距离为5-10mm； 还包括显示试纸，其设置于所述水平板的上表面，抛光液滴落至显示试纸后，所述显示试纸的颜色发生改变； 所述水平板的外沿配置有隔板，其自水平板的上表面竖直延伸而成；所述隔板包括前隔板和侧隔板，两者一体成型设置于水平板的外沿；所述侧隔板的长度大于水平板长度的一半。
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