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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利等离子体处理装置和等离子体处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113948364B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110773998.9，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权等离子体处理装置和等离子体处理方法是由鸟井夏实;永海幸一设计研发完成，并于2021-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本等离子体处理装置和等离子体处理方法在说明书摘要公布了：本发明提供能够在等离子体处理中恰当地控制基片的边缘区域的倾斜角度、并抑制基片与边缘环之间的放电的等离子体处理装置和等离子体处理方法。等离子体处理装置包括：腔室；设置在腔室内部的载置台，其具有电极、设置在电极上的静电卡盘、和以包围被载置在静电卡盘上的基片的方式配置在该静电卡盘上的边缘环；高频电源，其用于供给用于从腔室的内部的气体生成等离子体的高频电功率；直流电源，其用于对边缘环施加负极性的直流电压；和控制部，其用于控制高频电功率和直流电压。执行包括下述步骤的处理：步骤a，停止供给高频电功率，并且停止施加直流电压；和步骤b，开始供给高频电功率，经过预先设定的延迟时间后，开始施加直流电压。

本发明授权等离子体处理装置和等离子体处理方法在权利要求书中公布了：1.一种等离子体处理装置，其为用于对基片进行等离子体处理的装置，所述等离子体处理装置的特征在于，包括： 腔室； 设置在所述腔室的内部的载置台，其具有电极、设置在所述电极上的静电卡盘、和以包围被载置在所述静电卡盘上的基片的方式配置在该静电卡盘上的边缘环； 高频电源，其用于供给高频电功率，该高频电功率用于从所述腔室的内部的气体生成等离子体； 直流电源，其用于对所述边缘环施加负极性的直流电压； 用于对所述边缘环施加所述直流电压的直流电源电路； 用于对所述边缘环进行除电的除电电路； 用于切换所述边缘环与所述直流电源电路或所述除电电路的连接的切换单元；和 控制部，其用于对所述高频电功率和所述直流电压进行控制， 所述控制部控制所述装置，使得所述装置执行包括下述步骤的处理： 步骤a，停止供给所述高频电功率，并且停止施加所述直流电压，进而对所述边缘环进行除电； 步骤b，开始供给所述高频电功率，并且停止所述边缘环的除电，在经过预先确定的第一延迟时间后，开始施加所述直流电压；和 步骤c，停止供给所述高频电功率，并且停止施加所述直流电压，在经过预先确定的第二延迟时间后，开始所述边缘环的除电。

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