株式会社荏原制作所铃木洁获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社荏原制作所申请的专利清洗方法和清洗装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113369215B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110212467.2，技术领域涉及：B08B3/02；该发明授权清洗方法和清洗装置是由铃木洁设计研发完成，并于2021-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本清洗方法和清洗装置在说明书摘要公布了：本发明提供清洗方法和清洗装置，不会对镀敷液、用于保持基板的部件即基板保持架带来不良影响，并且能够除去无法利用纯水除去的附着于电接点的污垢。本发明的清洗方法是基板保持架的清洗方法，该基板保持架具有用于为了对基板进行镀敷而与基板接触来向基板供电的电接点，其中，该清洗方法具有通过柠檬酸水溶液来清洗安装于基板保持架的电接点的清洗工序。
本发明授权清洗方法和清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种清洗方法，是基板保持架的清洗方法，所述基板保持架具有用于为了对基板进行镀敷而与所述基板接触来向所述基板供电的电接点，其中， 所述清洗方法具有通过柠檬酸水溶液来清洗所述基板保持架的所述电接点的清洗工序， 所述基板保持架具有第一保持部件和第二保持部件，所述第一保持部件具有构成为与外部电源电连接的中继接点，所述第二保持部件具有所述电接点， 所述清洗方法具有在所述清洗工序之前，将所述第一保持部件和所述第二保持部件分离的分离工序， 在所述清洗工序中，不清洗所述第一保持部件，清洗所述第二保持部件， 所述清洗工序具有浸渍工序，在所述浸渍工序中，使作为所述基板保持架的至少一部分的部件并且具有所述电接点的保持部件的整体浸渍于保持在清洗槽中的所述柠檬酸水溶液。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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