吾拾微电子(苏州)有限公司万士元获国家专利权
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龙图腾网获悉吾拾微电子(苏州)有限公司申请的专利一种基片检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223485103U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422391442.5，技术领域涉及：G01B7/28；该实用新型一种基片检测装置是由万士元;钱彪;沈达;薛亚玲设计研发完成，并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基片检测装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种基片检测装置，包括：承载组件，用于承载基片；第一驱动组件，用于驱动承载台带动基片直线运动；第二驱动组件，且设置在承载组件上，用于驱动承载台带动基片旋转运动；检测组件，用于检测基片性能；控制组件，与检测组件连接，用于接收检测组件检测基片的反馈信号。即第一驱动组件可以同时驱动第二驱动组件与承载组件直线运动，从而既可以实现基片被驱动进行直线运动时，检测组件对基片进行翘曲度的检测，也可实现基片被驱动进行旋转运动时，检测组件对基片进行翘曲度的检测，还可以实现基片被驱动同时进行旋转运动和直线运动时，检测组件对基片进行翘曲度的检测，检测精度高、检测效率高、也不会对基片造成破坏且能够全面检测。
本实用新型一种基片检测装置在权利要求书中公布了：1.一种基片检测装置，其特征在于，包括： 工作台； 承载组件，具有承载部，用于承载基片； 第一驱动组件，与所述承载组件连接，用于驱动所述承载部带动所述基片相对于所述工作台直线运动； 第二驱动组件，与所述承载组件连接，用于驱动所述承载部带动所述基片相对于所述工作台旋转运动； 检测组件，安装在所述工作台上，位于所述承载组件的一侧，用于检测基片性能； 控制组件，与所述检测组件连接，用于接收所述检测组件检测所述基片的反馈信号。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人吾拾微电子(苏州)有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市苏州工业园区东富路9号东景工业坊7号楼东一楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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