江苏集芯先进材料有限公司李远田获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏集芯先进材料有限公司申请的专利碳化硅晶体生长装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223481346U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422638262.2,技术领域涉及:C30B29/36;该实用新型碳化硅晶体生长装置是由李远田设计研发完成,并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本碳化硅晶体生长装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种碳化硅晶体生长装置,包括第一坩埚、第二坩埚、多孔石墨筒、石墨筒、隔板、排气组件、籽晶安装组件和保温组件;第二坩埚同轴置于第一坩埚内部,第二坩埚上部盖有第二坩埚盖,第二坩埚盖上开设有通孔;多孔石墨筒同轴安装在第二坩埚内部;石墨筒同轴安装在多孔石墨筒内侧,石墨筒与多孔石墨筒之间具有设定间隙,石墨筒、多孔石墨筒、第二坩埚高度相同;隔板设置在石墨筒内部,隔板在长晶过程中能够被腐蚀并发生断裂下沉;排气组件盖在第一坩埚上部;籽晶安装组件设置在排气组件上部,籽晶安装在籽晶安装组件内壁上;保温组件包裹在坩埚、排气组件和籽晶安装组件外侧。
本实用新型碳化硅晶体生长装置在权利要求书中公布了:1.一种碳化硅晶体生长装置,其特征在于,包括 第一坩埚; 第二坩埚,所述第二坩埚同轴置于所述第一坩埚内部,所述第二坩埚外侧壁紧贴所述第一坩埚内侧壁,所述第二坩埚上部盖有第二坩埚盖,所述第二坩埚盖上开设有通孔; 多孔石墨筒,所述多孔石墨筒同轴安装在所述第二坩埚内部,所述多孔石墨筒外侧壁与所述第二坩埚内侧壁共同限定出第一装料空间; 石墨筒,所述石墨筒同轴安装在所述多孔石墨筒内侧,所述石墨筒与所述多孔石墨筒之间具有设定间隙,所述石墨筒、所述多孔石墨筒、所述第二坩埚高度相同; 隔板,所述隔板设置在所述石墨筒内部,所述隔板在长晶过程中能够被腐蚀并发生断裂下沉,所述隔板将所述石墨筒分隔成上部装料空间和下部装料空间; 排气组件,所述排气组件盖在所述第一坩埚上部,且所述排气组件底部与所述第二坩埚盖上表面紧密接触; 籽晶安装组件,所述籽晶安装组件设置在所述排气组件上部,所述籽晶安装组件内壁、所述排气组件内侧壁、所述坩埚盖外壁共同限定出晶体生长区,籽晶安装在所述籽晶安装组件内壁上; 保温组件,所述保温组件包裹在所述坩埚、所述排气组件和所述籽晶安装组件外侧,且所述保温组件顶壁与所述籽晶安装组件顶壁具有设定间隙。
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