江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司宗坚获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司申请的专利匀流组件以及镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223481268U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422617125.0，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型匀流组件以及镀膜设备是由宗坚设计研发完成，并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本匀流组件以及镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种匀流组件以及镀膜设备。所述匀流组件用于镀膜设备的镀膜腔体内气体的匀流，包括：进气挡板，设置于所述镀膜腔体内，并与所述镀膜腔体的进气口相对设置，所述进气挡板与所述进气口之间间隔第一距离，通过所述进气口的气体从所述进气挡板的边缘处流入所述镀膜腔体内。所述镀膜设备包括：镀膜腔体，具有用于放置待镀膜的工件的镀膜腔室以及与所述镀膜腔室相连通的进气口和抽气口；以及匀流组件，设置于所述镀膜设备的所述镀膜腔体内。
本实用新型匀流组件以及镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种匀流组件，用于镀膜设备的镀膜腔体内气体的匀流，其特征在于，包括： 进气挡板，设置于所述镀膜腔体内，并与所述镀膜腔体的进气口相对设置，所述进气挡板与所述进气口之间间隔第一距离，通过所述进气口的气体从所述进气挡板的边缘处流入所述镀膜腔体内；以及 抽气挡板，设置于所述镀膜腔体内，并与所述镀膜腔体的抽气口相对设置，所述抽气挡板与所述抽气口之间间隔第二距离，所述镀膜腔体内的气体从所述抽气挡板的边缘处流入所述抽气口。
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