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苏州艾钛科纳米科技有限公司刘俊红获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州艾钛科纳米科技有限公司申请的专利一种连续规模化沉积镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223481265U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422927172.5,技术领域涉及:C23C14/56;该实用新型一种连续规模化沉积镀膜设备是由刘俊红;刘伟;朱豪威设计研发完成,并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。

一种连续规模化沉积镀膜设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种连续规模化沉积镀膜设备,涉及沉积镀膜技术领域,包括工作台,所述工作台的下端四角位置处均固定安装有支撑腿,所述工作台的前端左侧设置有控制箱,所述工作台的上端固定连接有沉积箱,所述沉积箱的上端贯穿开设有矩形开口,所述矩形开口的前后两侧均设有连接板,将第一螺栓从安装块和连接板内取出,再通过把手将更换组件从沉积箱的内部取出,接着转动第二螺栓,带动靶材在连接框的下端松动,将第二螺栓从连接框的内部取出后,即可将靶材从连接框的下端取下,接着更换与基材相适配的靶材,再将更换组件从矩形开口处插入沉积箱的内部,使靶材可以适应新的基材要求,避免影响沉积效果。

本实用新型一种连续规模化沉积镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种连续规模化沉积镀膜设备,其特征在于:包括工作台1,所述工作台1的下端四角位置处均固定安装有支撑腿2,所述工作台1的前端左侧设置有控制箱3,所述工作台1的上端固定连接有沉积箱8,所述沉积箱8的上端贯穿开设有矩形开口9,所述矩形开口9的前后两侧均设有连接板11,所述连接板11的下端与沉积箱8的上端固定连接,所述矩形开口9的内部设有更换组件10; 其中,所述更换组件10包括连接块101,所述连接块101的上端固定连接有把手109,所述连接块101的前后两侧均固定连接有安装块102,所述安装块102的下端与连接板11的上端相抵接,所述安装块102通过第一螺栓103与连接板11相连接,所述连接块101的下端固定连接有连接框105,所述连接框105的外表面设置有密封垫104,所述密封垫104的上端与连接块101的下端固定连接,所述连接框105的内部设有正极板106,所述连接框105的下端设有靶材107,所述靶材107的下端四角位置处均通过第二螺栓108与连接框105相连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州艾钛科纳米科技有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市高新区浒杨路36号厂房2幢A102室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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