芯微特半导体科技(江苏)有限公司王博正获国家专利权
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龙图腾网获悉芯微特半导体科技(江苏)有限公司申请的专利一种半导体湿法槽式设备多功能槽盖装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223475878U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422641373.9,技术领域涉及:B08B15/02;该实用新型一种半导体湿法槽式设备多功能槽盖装置是由王博正;徐善仁;胡照君设计研发完成,并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体湿法槽式设备多功能槽盖装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体加工技术领域,具体为一种半导体湿法槽式设备多功能槽盖装置,包括清洗槽,所述清洗槽的顶端两侧均活动安装有槽盖本体,所述清洗槽的一侧下方通过安装座固定安装有电推杆,所述电推杆与槽盖本体之间设置有开合机构。本实用新型通过电推杆、导轨、滑座和连杆之间配合使用,由于滑座两端与两个槽盖本体的一侧通过连杆活动连接,因此滑座升起时,可带动两个连杆翻转将槽盖本体向上撑开,当两个槽盖本体打开至一定的角度时,滑座移动至定位孔的位置,然后启动气缸,气缸控制其输出轴插入定位孔中锁紧,这样两个槽盖本体保持打开姿势时,不会因电推杆的故障导致下落,因此在方便开合的同时,还可以起到防护的目的。
本实用新型一种半导体湿法槽式设备多功能槽盖装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体湿法槽式设备多功能槽盖装置,其特征在于:包括 清洗槽1,所述清洗槽1的顶端两侧均活动安装有槽盖本体2,所述清洗槽1的一侧下方通过安装座3固定安装有电推杆4,所述电推杆4与槽盖本体2之间设置有开合机构; 伸缩槽5,所述伸缩槽5设置于两个所述槽盖本体2的同向一侧下方,两个所述伸缩槽5的内部均设置有密封机构。
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