广州增芯科技有限公司刘争强获国家专利权
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龙图腾网获悉广州增芯科技有限公司申请的专利一种光刻机激光器尾气处理装置及系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223474697U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422824101.2，技术领域涉及：B01D53/02；该实用新型一种光刻机激光器尾气处理装置及系统是由刘争强设计研发完成，并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻机激光器尾气处理装置及系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种光刻机激光器尾气处理装置，尾气处理装置包括进气管路、两个互相并联的尾气处理桶和排气管路。还公开了一种光刻机激光器尾气处理系统，包括尾气处理装置，至少一气体分配模组、至少一激光发生器主腔，气体分配模组连接对应的激光发生器主腔，气体分配模组设置有第二出气管路，第二出气管路与尾气处理装置连接。本实用新型提供的光刻机激光器尾气处理装置及系统，不仅能控制有害气体排放的风险，而且能提高光刻机的利用率。
本实用新型一种光刻机激光器尾气处理装置及系统在权利要求书中公布了：1.一种光刻机激光器尾气处理装置，用于处理激光器腔室中产生的含氟废气，其特征在于，所述尾气处理装置包括进气管路6、至少两个相互并联的尾气处理桶7和排气管路10；其中，所述进气管路6设置有第一压力检测装置9，所述尾气处理桶7内设置有吸附氟气的固体药剂，所述排气管路10上设置有气体检测装置14和抽气装置11；所述进气管路6的输出端与所述尾气处理桶7连接，所述尾气处理桶7侧壁设置有排气口，所述排气口与所述排气管路10连接，所述尾气处理桶7内处理过的气体通过所述排气口排出至所述排气管路10，经所述气体检测装置14检测后排出排气管路10。
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