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龙图腾网获悉上海建工集团股份有限公司;上海市安装工程集团有限公司;上海市激光技术研究所有限公司申请的专利一种真空室平面度及直线度检测装置及检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120702382B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511211648.8，技术领域涉及：G01B11/30；该发明授权一种真空室平面度及直线度检测装置及检测方法是由陈晓明;江强;金华;张诚诚;秦跃忠;钱凯明;秦刚旺;金婷;高明;蔡琦鑫;吴旭东;顾王强;高宇;王丽;罗海燕;袁山山设计研发完成，并于2025-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种真空室平面度及直线度检测装置及检测方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种真空室平面度及直线度检测装置及检测方法，该装置包括承载平台、XY双轴运动平台、检测调节装置及固定支座，承载平台包括大理石平台；XY双轴运动平台包括Y轴运动机构、X轴运动机构和气浮系统，Y轴运动机构在大理石平台上执行Y向直线运动，X轴运动机构安装于Y轴运动机构上，并执行X向直线运动，气浮系统为X、Y轴运动机构提供气源；固定支座上安装有调整垫块，波荡器支架及真空室安装于固定支座上；调整垫块确定基准面；检测调节装置包括安装于X轴运动机构上的检测支架及第一、第二和第三传感器，第一、第二传感器分别与真空室上表面和侧面对应，第三传感器与基准面对应。本发明能够实现长行程、高精度的真空室定位检测。

本发明授权一种真空室平面度及直线度检测装置及检测方法在权利要求书中公布了：1.一种真空室平面度及直线度检测装置，其特征在于，包括承载平台、XY双轴运动平台、检测调节装置以及固定支座， 所述承载平台包括大理石平台和安装于所述大理石平台底部的第一调节支撑腿； 所述XY双轴运动平台包括Y轴运动机构、X轴运动机构和气浮系统，所述Y轴运动机构包括第一永磁体定子、第一动子气浮滑块和Y向导轨，所述Y向导轨铺设于所述大理石平台上表面，所述第一永磁体定子安装于所述Y向导轨之间，所述第一动子气浮滑块设于所述Y向导轨上方，所述大理石平台的侧面安装有第一光栅尺，所述第一动子气浮滑块内部安装有与所述第一光栅尺对应的第一读头；所述X轴运动机构包括底板、X向导轨、第二永磁体定子以及第二动子气浮滑块，所述底板安装于所述第一动子气浮滑块上，所述X向导轨铺设于所述底板上表面，所述第二永磁体定子安装于所述X向导轨之间，所述第二动子气浮滑块设于所述X向导轨上方，所述底板的侧面安装有第二光栅尺，所述第二动子气浮滑块上安装有与所述第二光栅尺对应的第二读头；所述第一动子气浮滑块和第二动子气浮滑块的内表面设有多个气孔，所述气浮系统与所述气孔连通，并为所述气孔提供气源； 所述固定支座底部安装有第二调节支撑腿，上部安装有调整垫块，波荡器支架及真空室安装于所述固定支座上；所述调整垫块为三个，三个所述调整垫块确定一个基准面； 所述检测调节装置包括安装于所述第二动子气浮滑块上的检测支架和沿所述检测支架纵向设置的第一传感器、第二传感器和第三传感器，所述第一传感器与所述真空室上表面对应，所述第二传感器与所述真空室的侧面对应，所述第三传感器与所述基准面对应。

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