新创源云海(成都)科技有限公司何志平获国家专利权
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龙图腾网获悉新创源云海(成都)科技有限公司申请的专利一种基于机器视觉的半导体载带表面质量检测方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120689347B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511217002.0,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权一种基于机器视觉的半导体载带表面质量检测方法及系统是由何志平;章俊;李照设计研发完成,并于2025-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于机器视觉的半导体载带表面质量检测方法及系统在说明书摘要公布了:本发明实施例提供一种基于机器视觉的半导体载带表面质量检测方法及系统,属于机器视觉检测技术领域。所述方法包括:带动绕设于所述供料滚轮与所述收料滚轮之间的待检测半导体载带表面通过检测工位,并在检测工位实时采集半导体载带表面图像信息;基于预处理后的图像信息提取用于表征半导体载带表面状态的多尺度纹理特征;基于所述纹理特征在缺陷识别模型中执行分类识别,判断所述半导体载带表面是否存在缺陷;根据缺陷识别结果和所述供料滚轮与所述收料滚轮的运行参数确定缺陷在半导体载带上的位置坐标,并输出对应的缺陷定位信息。本发明方案不仅提高了半导体载带缺陷检测的准确性和灵敏度,而且实现了缺陷定位在实际运行半导体载带中的映射。
本发明授权一种基于机器视觉的半导体载带表面质量检测方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种基于机器视觉的半导体载带表面质量检测方法,其特征在于,所述方法应用于半导体载带检测设备,所述设备包括用于释放半导体载带的供料滚轮和用于收卷半导体载带的收料滚轮,所述供料滚轮与所述收料滚轮之间通过传动机构带动半导体载带沿设定运行轨迹持续移动,所述运行轨迹上设置有图像采集装置,所述图像采集装置包括:设置于半导体载带运行轨迹上方的多角度复合偏振光源与与之对应的线阵工业相机阵列;在所述检测工位实时采集半导体载带表面图像信息包括:在所述多角度复合偏振光源对半导体载带表面进行不同偏振角与发光角下的斜射光照射的同时,利用所述线阵工业相机阵列按照与半导体载带运行速度匹配的曝光参数同步采集半导体载带表面图像,获得实时的半导体载带表面图像信息;所述方法包括: 驱动所述供料滚轮与所述收料滚轮转动,以带动所述半导体载带沿设定运行轨迹持续移动并通过检测工位,并在所述检测工位实时采集半导体载带表面图像信息; 对采集的图像信息执行预处理,并基于预处理后的图像信息提取用于表征半导体载带表面状态的多尺度纹理特征; 基于所述纹理特征在缺陷识别模型中执行分类识别,判断所述半导体载带表面是否存在缺陷; 根据缺陷识别结果和所述供料滚轮与所述收料滚轮的运行参数确定缺陷在半导体载带上的位置坐标,并输出对应的缺陷定位信息;其中, 根据缺陷识别结果和所述供料滚轮与所述收料滚轮的运行参数确定缺陷在半导体载带上的位置坐标,并输出对应的缺陷定位信息,包括: 获取所述供料滚轮与所述收料滚轮在缺陷识别时刻的实时转速信息; 基于所述实时转速信息构建卷径与帧序号之间的映射关系模型; 基于所述映射关系模型将识别缺陷所在帧序号映射为半导体载带纵向位移长度坐标,并结合半导体载带设定宽度确定缺陷的二维坐标位置,生成包含缺陷类型与空间位置的缺陷定位信息。
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