浙江大学周国栋获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利光刻胶旋涂工艺仿真方法、装置、计算机设备和存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120654510B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511172703.7，技术领域涉及：G06F30/23；该发明授权光刻胶旋涂工艺仿真方法、装置、计算机设备和存储介质是由周国栋;郑超怡;葛海文;王颂;高大为设计研发完成，并于2025-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本光刻胶旋涂工艺仿真方法、装置、计算机设备和存储介质在说明书摘要公布了：本申请涉及一种光刻胶旋涂工艺仿真方法、装置、计算机设备和存储介质。所述方法包括：基于目标晶圆的参数信息、光刻胶注入口的位置信息和光刻胶注入口的角度，建立扇形仿真网格；采用二维自适应网格加密算法对所述扇形仿真网格进行网格划分，得到目标仿真网格；构建两相流体数学模型；两相流体包括空气相和光刻胶相；基于目标仿真网格的边界条件、光刻胶旋涂工艺参数、空气流体属性和光刻胶流体属性对两相流体数学模型进行迭代求解，确定所述目标晶圆的光刻胶旋涂工艺仿真图像。能够对光刻胶旋涂工艺中两相流体的两相交界处进行准确加密，严格遵循二维模型的几何约束，从而获取到可靠的光刻胶旋涂工艺仿真结果。
本发明授权光刻胶旋涂工艺仿真方法、装置、计算机设备和存储介质在权利要求书中公布了：1.一种光刻胶旋涂工艺仿真方法，其特征在于，包括： 基于目标晶圆的参数信息、光刻胶注入口的位置信息和光刻胶注入口的角度，建立扇形仿真网格； 采用二维自适应网格加密算法对所述扇形仿真网格进行网格划分，得到目标仿真网格； 构建两相流体数学模型；所述两相流体包括空气相和光刻胶相； 基于所述目标仿真网格的边界条件、光刻胶旋涂工艺参数、空气流体属性和光刻胶流体属性对所述两相流体数学模型进行迭代求解，确定所述目标晶圆的光刻胶旋涂工艺仿真图像。
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