买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉北京聚睿众邦科技有限公司申请的专利疏水性微纳米级柔性薄膜结构及表征方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120651156B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511157384.2，技术领域涉及：G01B15/00；该发明授权疏水性微纳米级柔性薄膜结构及表征方法是由杨丽霞;刘紫洋;王双欣;闫方亮;张祎家设计研发完成，并于2025-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本疏水性微纳米级柔性薄膜结构及表征方法在说明书摘要公布了：本发明公开了疏水性微纳米级柔性薄膜结构及表征方法，涉及薄膜结构表征技术领域，为了解决柔性薄膜的支撑性不佳以及标准数据获取不准确的问题。本发明针对粗减薄和精减薄阶段设置不同的加速电压与电流，可实现对材料的精细去除，保证减薄厚度的准确性，借助标尺工具对测量图像中薄膜的厚度、表面起伏幅度和微结构特征尺寸进行测量，可将疏水性微纳米级柔性薄膜的形貌特征转化为精确数据，利用钨的高硬度、高化学稳定性与良好的热传导性，为薄膜提供了刚性支撑，先对目标区域上下两侧铣削并挖孔周围材料形成初步薄片轮廓，再进行U型铣削和反溅材料清理，有效控制样品形态，减少加工应力对样品结构的破坏。

本发明授权疏水性微纳米级柔性薄膜结构及表征方法在权利要求书中公布了：1.疏水性微纳米级柔性薄膜结构的表征方法，应用在疏水性微纳米级柔性薄膜结构中，其特征在于，疏水性微纳米级柔性薄膜结构包括柔性薄膜本体结构、表面保护结构、导电结构、支撑结构和固定结构； 所述表面保护结构为在薄膜表面用油性马克笔轻划，因疏水性形成点状油墨分布，用于标记取样区域并保护表面；导电结构为蒸金层；支撑结构包括上保护层、样品层和下保护层；固定结构为铜栅基底； 疏水性微纳米级柔性薄膜结构的表征方法，包括： 先将薄膜样品进行样品预处理，将预处理完成的样品进行目标区域标记，并对标记的目标区域进行初步保护，对初步保护完成的样品进行粗加工，粗加工完成后进行样品分离，将分离后的样本进行二次保护，将二次保护后的样品进行减薄制样，减薄制样后在低损伤条件下完成微结构成像，获取薄膜尺寸及形貌数据； 将薄膜样品进行样品预处理，包括： 用油性马克笔在疏水性薄膜表面划一道，划一道后薄膜表面呈点状分布，并形成表面保护结构； 将薄膜表面静置至笔油晾干； 将晾干后的薄膜样品放入蒸金设备中，并在薄膜样品表面蒸镀一层金膜； 最终完成薄膜样品的样品预处理； 将预处理完成的样品进行目标区域标记，并对标记的目标区域进行初步保护，包括： 将预处理后的薄膜样品放入聚焦离子束电子束双束电镜样品室中，使用电子束在低倍率下扫描样品表面； 根据扫描结果将样品表面的点状分布的痕迹进行识别； 将识别的点状分布区域作为目标区域，并利用聚焦离子束电子束双束电镜的标记功能进行目标区域的边界标记； 再对目标区域进行初步保护，初步保护为调整聚焦离子束电子束双束电镜的离子束角度，其中，离子束角度为52°，加速电压设为30kV，离子束电流设为0.23nA； 对目标区域的表面沉积一层钨保护层，沉积厚度为1μm； 启动沉积程序，钨材料在离子束作用下覆盖目标区域，形成上保护层和样品层的初步结构。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京聚睿众邦科技有限公司，其通讯地址为：100094 北京市海淀区永丰路5号院3号楼5层501；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。