武汉理工大学郭敏获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉理工大学申请的专利晶圆表面处理工艺推荐方法、装置、设备和存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120611277B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511105645.6，技术领域涉及：G06F18/2415；该发明授权晶圆表面处理工艺推荐方法、装置、设备和存储介质是由郭敏;谢子贤;舒帅;龚怡;徐康;李寒;李俊升设计研发完成，并于2025-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆表面处理工艺推荐方法、装置、设备和存储介质在说明书摘要公布了：本申请提出了一种晶圆表面处理工艺推荐方法、装置、设备和存储介质，涉及半导体制造技术领域，包括：获取目标晶圆的表面物化特性参数，并对表面物化特性参数进行预处理，得到目标物化特性参数；将目标物化特性参数输入预训练的单隐藏层神经网络模型，得到目标晶圆在各工艺参数方面的初步推荐参数；将目标物化特性参数和初步推荐参数拼接后共同输入至基于注意力机制的Transformer编码器中，利用多头自注意力机制建模输入特征间的复杂耦合关系，提取深度表达以输出目标推荐参数。通过上述方法可以实现目标晶圆的表面物化特性参数到工艺参数之间的非线性映射，从而可以实现晶圆等离子体表面处理工艺参数的高效、精确、自动化推荐。
本发明授权晶圆表面处理工艺推荐方法、装置、设备和存储介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆表面处理工艺推荐方法，其特征在于，包括： 获取目标晶圆的表面物化特性参数，并对所述表面物化特性参数进行预处理，得到目标物化特性参数； 将所述目标物化特性参数输入预训练的单隐藏层神经网络模型，得到所述目标晶圆在各工艺参数方面的初步推荐参数； 将所述目标物化特性参数和所述初步推荐参数拼接后共同输入至基于注意力机制的Transformer编码器中，利用多头自注意力机制建模输入特征间的复杂耦合关系，提取深度表达以输出目标推荐参数； 将所述目标物化特性参数和所述目标推荐参数输入基于长短期记忆神经网络的误差率预测模型，得到所述目标晶圆各工艺参数的预测误差率； 根据所述目标晶圆各工艺参数的预测误差率对所述目标推荐参数进行校准，生成校准推荐参数。
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