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龙图腾网获悉浙江星曜半导体有限公司申请的专利声表面波谐振器的制备方法、声表面波谐振器及相关设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118826675B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411115924.6，技术领域涉及：H03H3/08；该发明授权声表面波谐振器的制备方法、声表面波谐振器及相关设备是由王成;高安明;姜伟;路晓明设计研发完成，并于2024-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本声表面波谐振器的制备方法、声表面波谐振器及相关设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种声表面波谐振器的制备方法、声表面波谐振器及相关设备，涉及射频技术领域，该方法采用“减法”工艺，即先沉积足够厚度的叉指电极及其引出部，再以阻挡层为刻蚀阻挡层，刻蚀减薄叉指电极中心部分及叉指电极引出部至目标厚度，一体化形成叉指电极和位于叉指电极末端的凸起结构，二者之间没有分离的界面，凸起结构在垂直于压电衬底所在平面的方向上和在平行于压电衬底所在平面的方向上均与第一叉指电极和第二叉指电极的叉指电极末端部分自对准，且位置固定，能够保证多个谐振器滤波器个体之间的一致性，有助于提升生产效率和产品良率；最后保留凸起结构上的阻挡层，进一步起到阻挡扩散的作用。

本发明授权声表面波谐振器的制备方法、声表面波谐振器及相关设备在权利要求书中公布了：1.一种声表面波谐振器的制备方法，其特征在于，包括： 提供压电衬底； 在所述压电衬底上形成第一叉指电极引出部、与所述第一叉指电极引出部连接的多个第一叉指电极、第二叉指电极引出部以及与所述第二叉指电极引出部连接的多个第二叉指电极，所述第一叉指电极和所述第二叉指电极交叉平行设置，所述第一叉指电极和所述第二叉指电极均包括与各自引出部连接的叉指电极中心部分和远离各自引出部的叉指电极末端部分； 形成阻挡层，所述阻挡层覆盖所述压电衬底、所述第一叉指电极引出部、所述第一叉指电极、所述第二叉指电极引出部以及所述第二叉指电极； 对所述阻挡层进行刻蚀，保留所述第一叉指电极和所述第二叉指电极的叉指电极末端部分以及所述压电衬底上的所述阻挡层，去除其他区域的所述阻挡层； 对暴露的所述第一叉指电极和所述第二叉指电极的叉指电极中心部分、所述第一叉指电极引出部以及所述第二叉指电极引出部刻蚀至剩余目标厚度，使得所述第一叉指电极和所述第二叉指电极的叉指电极末端部分相对于所述第一叉指电极和所述第二叉指电极的叉指电极中心部分以及所述第一叉指电极引出部和所述第二叉指电极引出部凸起形成凸起结构，凸起结构在垂直于所述压电衬底所在平面的方向上和在平行于所述压电衬底所在平面的方向上均与所述第一叉指电极和所述第二叉指电极的叉指电极末端部分自对准； 去除所述压电衬底上的所述阻挡层，保留所述凸起结构上的所述阻挡层。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江星曜半导体有限公司，其通讯地址为：325038 浙江省温州市浙南科技城创新创业新天地一期1号楼506室(自主申报)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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