苏州矽视科技有限公司张凡凡获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州矽视科技有限公司申请的专利真空隔离装置与扫描电子显微镜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118737784B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411014580.X，技术领域涉及：H01J37/065；该发明授权真空隔离装置与扫描电子显微镜是由张凡凡;杨钢;赵焱;隋建滋设计研发完成，并于2024-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空隔离装置与扫描电子显微镜在说明书摘要公布了：本发明属于精密器件领域，涉及真空隔离装置及扫描电子显微镜，真空隔离装置包括带腔体的主构件，腔体底部包含设有孔的密封面；腔体内安装主阀体、辅助阀体、侧挤压件和弹性件；辅助阀体与侧挤压件互相配合，从主阀体的相对两侧挤压固定主阀体且对主阀体施加向下的压力，将主阀体的密封圈压紧于密封面上，实现腔体的真空隔离；还包括弹性件，弹性件的第一端固接辅助阀体且第二端伸入主阀体内；主阀体内安装压块，弹性件的第二端由压块压接而向下变形；当弹性件跟随辅助阀体相对主阀体移动而释放变形应力后向上顶起主阀体。本发明应用于超洁净环境中，避免阀体移动时的摩擦力引起颗粒物污染密封腔内环境。
本发明授权真空隔离装置与扫描电子显微镜在权利要求书中公布了：1.一种真空隔离装置，包括带腔体的主构件，所述腔体的底部包含一设有孔的密封面；其特征在于，所述腔体内安装主阀体、辅助阀体、侧挤压件和弹性件；所述辅助阀体与所述侧挤压件互相配合，从主阀体的相对两侧挤压固定所述主阀体且对主阀体施加向下的压力，将主阀体压紧于密封面上，实现腔体的真空隔离； 所述弹性件的第一端固接所述辅助阀体且第二端伸入所述主阀体内；所述主阀体内安装压块，所述弹性件的第二端由所述压块压接而向下变形；当所述弹性件跟随辅助阀体相对主阀体向后移动而释放变形应力后向上顶起主阀体； 所述弹性件的第二端开设有腰型孔，所述腰型孔的长度方向平行于主阀体的移动方向，所述压块由贯穿于所述腰型孔的连接件连接至所述主阀体； 当所述辅助阀体后退复位时，所述弹性件的腰型孔使所述辅助阀体松开主阀体，所述弹性件在所述压块的底部迅速释放应力后向上顶起压块，从而使所述主阀体脱离密封面。
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