日新电机株式会社久保田清获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉日新电机株式会社申请的专利溅镀装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117043385B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202280020050.9，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权溅镀装置是由久保田清;安东靖典设计研发完成，并于2022-06-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本溅镀装置在说明书摘要公布了：本发明遍及靶的整个表面地供给气体。溅镀装置1的真空容器2包括保持靶30的至少一个靶保持器32。靶保持器包括：气体导入部51，导入气体10；以及一对气体放出口54，设置于靶周围的至少一部分的相向位置且将气体放出至真空容器内。
本发明授权溅镀装置在权利要求书中公布了：1.一种溅镀装置，在真空容器内对靶进行溅镀而在基板上成膜，且所述溅镀装置中， 所述真空容器包括保持所述靶的至少一个保持部， 所述保持部包括： 气体导入部，向所述保持部导入气体；以及 一对开口部，在自铅垂下方向观察在所述保持部中配置所述靶的靶配置位置时，遍及所述靶配置位置的周围的至少一部分且设置于隔着所述靶配置位置相向的位置，将导入至所述保持部内的所述气体放出至所述真空容器内。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人日新电机株式会社，其通讯地址为：日本京都府京都市右京区梅津高亩町47番地；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励