深圳智现未来工业软件有限公司穆晓宝获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳智现未来工业软件有限公司申请的专利训练晶圆图像的多缺陷分割模型的方法和装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116342623B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310321631.2,技术领域涉及:G06F16/00;该发明授权训练晶圆图像的多缺陷分割模型的方法和装置是由穆晓宝;易丛文;夏敏设计研发完成,并于2023-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本训练晶圆图像的多缺陷分割模型的方法和装置在说明书摘要公布了:本说明书实施例提供了一种训练晶圆图像的多缺陷分割模型的方法和装置。该方法的一具体实施方式包括:获取包含m个缺陷的样本晶圆图像,以及针对所述m个缺陷分别标注的m个缺陷区域;基于所述m个缺陷区域,确定包含多个通道的标签图像,其中,单个通道的标签图像示出单个缺陷区域;将所述样本晶圆图像作为输入,将所述标签图像作为期望输出,训练多缺陷分割模型。
本发明授权训练晶圆图像的多缺陷分割模型的方法和装置在权利要求书中公布了:1.一种训练晶圆图像的多缺陷分割模型的方法,包括: 获取包含m个缺陷的样本晶圆图像,以及针对所述m个缺陷分别标注的m个缺陷区域,其中,所述m个缺陷为同种类型缺陷,或者多种类型缺陷; 基于所述m个缺陷区域,确定包含多个通道的标签图像,其中,单个通道的标签图像示出单个缺陷区域,所述标签图像的通道数量n大于或者等于m,所述样本晶圆图像和所述标签图像的大小相等;以及,所述基于所述m个缺陷区域,确定包含多个通道的标签图像,包括: 根据所述样本晶圆图像中标注的m个缺陷区域,生成m张缺陷图像,其中,每个缺陷图像中的缺陷区域的像素值为第一像素值,非缺陷区域的像素值为第二像素值; 将所述m张缺陷图像作为m个通道的标签图像,将n-m张像素值为第二像素值的图像作为n-m个通道的标签图像,得到n个通道的标签图像; 将所述样本晶圆图像作为输入,将所述标签图像作为期望输出,训练多缺陷分割模型。
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