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恩特格里斯公司R·V·拉施克获国家专利权

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龙图腾网获悉恩特格里斯公司申请的专利具有通过基底板的保持特征的光罩盒获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115053185B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080094430.8,技术领域涉及:G03F7/20;该发明授权具有通过基底板的保持特征的光罩盒是由R·V·拉施克设计研发完成,并于2020-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。

具有通过基底板的保持特征的光罩盒在说明书摘要公布了:本发明公开一种光罩盒,其包含:内部部分,其包含盖及基底板;及外部部分,其包含盒圆顶及盒门。所述盒门包含闩锁,及可经驱动以在操作所述闩锁时移动的一或多个可移动柱。所述基底板包含可被所述可移动柱接触的可移动光罩接触件。所述可移动柱与所述可移动光罩接触件之间的接触使所述基底板中的所述可移动光罩接触件移动朝向所述盖。此移动可将光罩紧固于所述光罩盒内。

本发明授权具有通过基底板的保持特征的光罩盒在权利要求书中公布了:1.一种光罩盒,其包括: 内部部分,其包含盖及基底板,其中所述盖包含经结合到所述盖的一或多个盖光罩接触件,且所述基底板包含一或多个可移动光罩接触件,所述一或多个可移动光罩接触件各自经配置以能在具有垂直于所述基底板的平面的分量的方向上移动;及 外部部分,其包含盒圆顶及盒门,其中所述盒门包含一或多个可移动柱及经配置以驱动所述一或多个可移动柱的一或多个闩锁, 其中当所述内部部分定位于所述外部部分内且所述盒门固定到所述盒圆顶时,所述一或多个可移动柱接触所述一或多个可移动光罩接触件,使得所述一或多个可移动光罩接触件被移动朝向所述盖, 其中所述一或多个盖光罩接触件和所述一或多个可移动光罩接触件将光罩牢固地定位在光罩盒。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人恩特格里斯公司,其通讯地址为:美国马萨诸塞州;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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