库力索法荷兰有限公司M·R·塞姆勒获国家专利权
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龙图腾网获悉库力索法荷兰有限公司申请的专利利用光学系统特性的调整的分立组件装配体的位置误差补偿获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115004350B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080055235.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权利用光学系统特性的调整的分立组件装配体的位置误差补偿是由M·R·塞姆勒;S·布朗;R·H·赫夫斯设计研发完成，并于2020-06-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本利用光学系统特性的调整的分立组件装配体的位置误差补偿在说明书摘要公布了：一种方法包括：确定安装在激光辅助转移系统中的分立组件装配体的分立组件和目标基板上的目标位置之间的对准误差，该分立组件装配体包括通过动态释放层附着至支承件的分立组件；基于该对准误差来确定光束偏移特性；以及将指示该光束偏移特性的信号提供至激光辅助转移系统的光学元件，该光学元件被配置为根据光束偏移特性来调整光束图案相对于分立组件的位置。
本发明授权利用光学系统特性的调整的分立组件装配体的位置误差补偿在权利要求书中公布了：1.一种方法，包括： 确定安装在激光辅助转移系统中的分立组件装配体的分立组件和目标基板上的目标位置之间的对准误差，所述分立组件装配体包括通过动态释放层附着至支承件的所述分立组件； 基于所述对准误差来确定光束偏移特性；以及 将指示所述光束偏移特性的信号提供至所述激光辅助转移系统的光学元件，所述光学元件被配置为根据所述光束偏移特性来调整光束图案相对于所述分立组件的位置。
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