美商楼氏电子有限公司S·舒伯姆获国家专利权
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龙图腾网获悉美商楼氏电子有限公司申请的专利MEMS声换能器和麦克风装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114827857B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210047523.6,技术领域涉及:H04R19/04;该发明授权MEMS声换能器和麦克风装置是由S·舒伯姆;林宏谦设计研发完成,并于2022-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本MEMS声换能器和麦克风装置在说明书摘要公布了:本公开涉及MEMS声换能器和麦克风装置。一种MEMS声换能器包括:基板,在该基板中形成有开口;振膜,该振膜包括带槽绝缘层和第一导电层。带槽绝缘层绕其周边附接至基板并且在开口上方,并且第一导电层设置在带槽绝缘层的第一表面上。背板与振膜分离并且设置在振膜的与基板相反的一侧。
本发明授权MEMS声换能器和麦克风装置在权利要求书中公布了:1.一种微机电系统MEMS声换能器,所述MEMS声换能器包括: 基板,在所述基板中形成有开口; 振膜,所述振膜包括带槽绝缘层和第一导电层,所述带槽绝缘层绕其周边附接至所述基板并且在所述开口上方,所述第一导电层设置在所述带槽绝缘层的第一表面上;以及 背板,所述背板与所述振膜分离并且设置在所述振膜的与所述基板相反的一侧, 其中,所述带槽绝缘层包括穿过其中设置的多个槽,其中,各个槽具有长尺寸和短尺寸,其中,所述槽是从包括曲线槽、直线槽以及其组合的槽组中选择的,所述曲线槽被定向成使得其长尺寸绕所述带槽绝缘层的中心周向地对齐,所述直线槽的长尺寸相对于所述带槽绝缘层的所述中心径向地对齐,并且其中,所述短尺寸在2μm至8μm的范围内。
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