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龙图腾网获悉武汉精立电子技术有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司申请的专利一种适用于机台配套的晶圆快速检测方法、系统及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114816248B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210395270.1，技术领域涉及：G06F3/06；该发明授权一种适用于机台配套的晶圆快速检测方法、系统及介质是由丁敬;夏振义;张胜森;杨盾;郑增强;欧昌东设计研发完成，并于2022-04-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种适用于机台配套的晶圆快速检测方法、系统及介质在说明书摘要公布了：本发明公开了一种适用于机台配套的晶圆快速检测方法，包括步骤：配置检测软件服务器的内存条的虚拟磁盘；接收检测软件发送的心跳包，实时监控机构软件给晶圆拍照后存放晶粒图片的文件夹的图片变化情况；有新的图片生成，则将所述新的图片拷贝到所述虚拟磁盘；待所述晶圆所有的晶粒图片拷贝完成后，则使用所述检测软件对所述晶圆所有的晶粒图片进行缺陷检测并输出检测结果。本发明引入了对图片生成文件夹变化的监控机制，在有新的图片生成时，立即从机构软件主机拷贝到检测软件主机，并采用内存虚拟硬盘的方式，从而加快了图片的读写速度，读写速度比固态硬盘还快30倍左右，大幅度地减少了图片的读写时间，降低了整个晶圆的缺陷检测时间。

本发明授权一种适用于机台配套的晶圆快速检测方法、系统及介质在权利要求书中公布了：1.一种适用于机台配套的晶圆快速检测系统，其特征在于，包括:检测软件服务器、机构软件和守护进程软件服务器以及显示操作装置； 所述检测软件服务器包括检测软件模块，所述检测软件模块包括文件夹监控图片拷贝单元、检测算法单元、晶圆结果显示单元和心跳发送单元； 所述文件夹监控图片拷贝单元用于实时监控机构软件给晶圆拍照后存放晶粒图片的文件夹的图片变化情况，将新生成的图片拷贝到所述检测软件服务器的虚拟磁盘； 所述检测算法单元用于对所述晶粒图片进行缺陷检测； 所述晶圆结果显示单元用于显示所述晶粒图片的缺陷检测结果； 所述心跳发送单元用于发送心跳包； 所述机构软件和守护进程软件服务器包括机构软件模块和守护进程软件模块； 所述机构软件模块配合系统外部的所述机台对所述晶圆进行飞拍； 所述守护进程软件模块包括心跳接收单元；所述心跳接收单元用于接收所述心跳包； 所述显示操作装置用于展示晶圆检测过程中的各种图片和检测结果。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人武汉精立电子技术有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司，其通讯地址为：430205 湖北省武汉市东湖新技术开发区流芳园南路22号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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