拓荆科技股份有限公司田晓明获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技股份有限公司申请的专利传送晶圆的方法和机械手臂获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114695216B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011643091.2，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权传送晶圆的方法和机械手臂是由田晓明;王卓;李慧设计研发完成，并于2020-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本传送晶圆的方法和机械手臂在说明书摘要公布了：本申请涉及一种传送晶圆的方法和机械手臂。所述方法包括：将第一晶圆提供到机械手臂的手指部前端；伸展所述机械手臂到第一长度使所述机械手臂的所述手指部前端移动到第一处理腔室中的第一处理位置；将所述第一晶圆放置于所述第一处理位置；收缩所述机械手臂使所述机械手臂的所述手指部前端移出所述第一处理腔室；将第二晶圆提供到所述机械手臂的所述手指部前端；伸展所述机械手臂到第二长度使所述机械手臂的所述手指部前端移动到所述第一处理腔室中的第二处理位置，其中所述第二长度不同于所述第一长度；以及将所述第二晶圆放置于所述第二处理位置。
本发明授权传送晶圆的方法和机械手臂在权利要求书中公布了：1.一种机械手臂，其包括： 第一层伸展单元和第二层伸展单元，均安装在底座上，所述第一层伸展单元和第二层伸展单元分别包括第一小臂部、第二小臂部、第一大臂部以及第二大臂部，其中所述第一小臂部的第一端与所述第二小臂部的第一端连接于第一关节处，所述第一小臂部的第二端与所述第一大臂部的第一端连接于第二关节处，所述第二小臂部的第二端与所述第二大臂部的第一端连接于第三关节处，所述第一大臂部的第二端与所述第二大臂部的第二端共同连接于所述底座上的支点处； 第一层手指部，其安装在所述第一层伸展单元的所述第一关节处，用于在所述第一层伸展单元到第一长度或第二长度时，将待处理晶圆传送到处理腔室的第一处理位置或第二处理位置进行处理，其中所述第二长度不同于所述第一长度；以及 第二层手指部，其安装在所述第二层伸展单元的所述第一关节处，用于在所述第二层伸展单元到所述第一长度或第二长度时，从所述处理腔室中的所述第一处理位置或所述第二处理位置取出已处理完成的晶圆。
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