细美事有限公司禹明勋获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利晶圆检查方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114695156B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111545178.0，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权晶圆检查方法是由禹明勋设计研发完成，并于2021-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆检查方法在说明书摘要公布了：晶圆检查方法包括从晶圆的边缘区域获取检查图像，沿晶圆的径向方向生成检查图像的颜色曲线，基于颜色曲线沿从晶圆的侧表面朝向晶圆的中心的第一方向的变化，检测形成在晶圆上的层的侧表面，以及计算层的侧表面和晶圆的侧表面之间的距离。
本发明授权晶圆检查方法在权利要求书中公布了：1.晶圆检查方法，包含： 从晶圆的边缘区域获取检查图像； 沿所述晶圆的径向方向生成所述检查图像的颜色曲线；以及 基于所述颜色曲线在沿所述晶圆的侧表面朝向所述晶圆的中心的第一方向的变化，检测形成在所述晶圆上的层的侧表面， 其中检测所述层的侧表面包含： 根据所述层的颜色从红色、绿色和蓝色中选择一种颜色；以及 从沿所述第一方向的颜色比例曲线中搜索与所选颜色相对应的颜色比例曲线，以检测具有所述所选颜色的预定颜色比例的像素；并且 从所检测的像素沿所述第一方向搜索所述颜色比例曲线，以在所述所检测的像素的所选颜色的颜色水平值或所述所检测的像素的灰度水平值低于预定值时检测具有所述所选颜色的所述预定颜色比例的第二像素。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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