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龙图腾网获悉上海果纳半导体技术有限公司申请的专利一种晶圆传输系统及半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114496867B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011153884.6，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种晶圆传输系统及半导体设备是由毕迪设计研发完成，并于2020-10-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆传输系统及半导体设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶圆传输系统及半导体设备，该晶圆传输系统包括缓存台，设置于缓存台上方的若干用于检测晶圆重量的压力检测单元，光电检测单元，以及拾取单元；拾取单元包括两个平行设置的转动式抓取板，转动式抓取板沿其延伸方向的至少一条侧边形成承托晶圆边缘并具第一缺口的固定叉齿部，与连接转动式抓取板的端部连接两个连接臂，拾取单元根据光电检测单元及压力检测单元发送的检测信号，以确定转动式抓取板的轴向转动角度。本申请所揭示的晶圆传输系统避免了晶圆传输系统在抓取并传输晶圆过程中可能发生的掉片或碎片等不良现象，实现了对不同厚度的晶圆执行夹持操作，提高了对晶圆夹持操作的可靠性。

本发明授权一种晶圆传输系统及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传输系统，其特征在于，包括： 缓存台，设置于缓存台上方的若干用于检测晶圆重量的压力检测单元，光电检测单元，以及拾取单元； 所述拾取单元包括两个平行设置并同步对向转动的转动式抓取板，所述转动式抓取板沿其延伸方向的两条侧边形成承托晶圆底部边缘并具有开口尺寸不同的第一缺口的固定叉齿部，所述拾取单元根据光电检测单元及压力检测单元发送的检测信号，以确定转动式抓取板的轴向转动角度，所述拾取单元还包括：两个平行设置的连接臂、两根转轴、安装座、至少一排活动叉齿以及驱动所述活动叉齿作伸缩运动的驱动机构，所述两个连接臂通过所述两根转轴相连，每根所述转轴上均配置有所述安装座，所述转动式抓取板与所述安装座固定连接，以及设置于所述连接臂的自由端的至少两个用于驱动转轴的第二伺服机构；所述活动叉齿具有与所述第一缺口的开口尺寸不同的第二缺口，所述第二缺口的开口方向与所述第一缺口的开口方向呈同向配置；所述第二伺服机构驱动转轴转动，驱动所述转动式抓取板同步对向翻转，以通过所述固定叉齿部的第一缺口或者所述活动叉齿的第二缺口承托晶圆的底部边缘。

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