朗姆研究公司贾斯廷·奥伯斯特获国家专利权
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龙图腾网获悉朗姆研究公司申请的专利在金属镀覆前对衬底进行化学和加热润湿的系统和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112534559B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980051273.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权在金属镀覆前对衬底进行化学和加热润湿的系统和方法是由贾斯廷·奥伯斯特;布莱恩·巴卡柳;斯蒂芬·J·巴尼克;孟·伟·爱德温·吴;约瑟夫·理查森;劳伦斯·奥索维斯基;马克·夸利奥;道格拉斯·希格利设计研发完成，并于2019-07-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本在金属镀覆前对衬底进行化学和加热润湿的系统和方法在说明书摘要公布了：一种润湿工具，其提供改进的润湿性和从由衬底上的图案化抗蚀剂层限定的特征中去除碎屑的功能。衬底润湿工具依赖于pH值为2.0或更小和或温度范围为20至50℃的润湿溶液。在pH为2.0或更小时，用于形成特征的抗蚀剂材料发生化学反应，从而使其更加亲水。因此，润湿溶液被吸引到特征中，从而有利地减少了气泡形成的机会并去除了碎屑。在升高的温度下，加热的润湿溶液改进了颗粒的分层并有助于溶解来自衬底表面的碎屑和氧化物。
本发明授权在金属镀覆前对衬底进行化学和加热润湿的系统和方法在权利要求书中公布了：1.一种衬底润湿工具，其包括： 腔室； 用于在所述腔室内支撑衬底的衬底基座，所述衬底具有限定特征的图案化的抗蚀剂层；以及 用于将润湿溶液引入所述腔室中的润湿溶液分配系统，所述润湿溶液具有2.0或更小的pH以及范围为20至50℃的温度，所述润湿溶液将所述特征向下填充至所述特征的籽晶层， 其中所述抗蚀剂层是疏水的，并且 其中pH为2.0或更小的所述润湿溶液与所述抗蚀剂层发生化学反应，从而使所述抗蚀剂层更具亲水性。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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