湖南虹安微电子有限责任公司白羽获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南虹安微电子有限责任公司申请的专利平面型MOSFET器件获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223472493U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422896772.X,技术领域涉及:H10D30/60;该实用新型平面型MOSFET器件是由白羽设计研发完成,并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本平面型MOSFET器件在说明书摘要公布了:本实用新型实施例提供一种平面型MOSFET器件,兼具抗击穿、低电阻、降低栅漏电容等优点。其包括:衬底;外延层,设置在衬底层上;外延层包括:漂移层、第一子区、阱区、和源区。阱区内具有位于源区和第一子区之间的沟道区;栅氧化物层,设置在外延层远离衬底的顶表面上并分别与第一子区、沟道区和源区连接;栅电极,设置在栅氧化物层远离外延层的一侧,栅电极包括沿第一方向间隔设置的两个主体部;两个主体部在外延层上的正投影分别位于沟道区上;源极金属,设置在栅电极远离外延层的一侧,且分别与阱区和源区连接;隔离氧化层,设置于栅电极和源极金属之间;隔离氧化层内开设有接触孔;第一金属层,嵌设于隔离氧化层内,且穿过接触孔与栅电极电连接。
本实用新型平面型MOSFET器件在权利要求书中公布了:1.一种平面型MOSFET器件,其特征在于,包括: 衬底10; 外延层20,设置在所述衬底10层上;所述外延层20包括:漂移层21;第一子区22,设置在所述漂移层21远离所述衬底10的一侧;阱区23,设置在所述第一子区22沿第一方向的相对两侧;源区24,所述源区24嵌设于所述阱区23且所述源区24远离所述衬底10的上表面暴露于所述阱区23外;所述阱区23内具有位于所述源区24和所述第一子区22之间的沟道区231; 栅氧化物层30,设置在所述外延层20远离所述衬底10的顶表面上并分别与所述第一子区22、所述沟道区231和所述源区24连接; 栅电极40,设置在所述栅氧化物层30远离所述外延层20的一侧,所述栅电极40包括沿所述第一方向间隔设置的两个主体部41;所述两个主体部41在所述外延层20上的正投影分别位于所述沟道区231上; 源极金属70,设置在所述栅电极40远离所述外延层20的一侧,且分别与所述阱区23和所述源区24连接; 隔离氧化层50,设置于所述栅电极40和所述源极金属70之间;所述隔离氧化层50内开设有接触孔511; 第一金属层60,嵌设于所述隔离氧化层50内,且穿过所述接触孔511与所述栅电极40电连接。
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