捷螺智能设备(苏州)有限公司洪成都获国家专利权
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龙图腾网获悉捷螺智能设备(苏州)有限公司申请的专利一种用于半导体加工设备的送料装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223471589U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422615322.9，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种用于半导体加工设备的送料装置是由洪成都;郭启彬;张振义设计研发完成，并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体加工设备的送料装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于半导体加工设备的送料装置，包括支撑装置，所述支撑装置的前端上滑动套接有位移装置，所述位移装置靠近支撑装置的顶端上固定安装有定位装置，所述定位装置包括第一液压气缸、导向杆、支撑底板、接触板和缓冲弹簧，所述第一液压气缸对称固定安装在支撑底板的顶端，所述缓冲弹簧固定安装在支撑底板的底端中心，所述接触板固定安装在缓冲弹簧的底端，所述导向杆滑动贯穿支撑底板与接触板连接，所述位移装置包括第二液压气缸、支撑背板、支撑垫板和位移支架，所述第二液压气缸对称固定安装在位移支架的顶部后端。本实用新型通过定位装置、位移装置和支撑装置的设置，实现了可将晶元稳定限制的目的。
本实用新型一种用于半导体加工设备的送料装置在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体加工设备的送料装置，包括支撑装置3，所述支撑装置3的前端上滑动套接有位移装置2，所述位移装置2靠近支撑装置3的顶端上固定安装有定位装置1，其特征在于：所述定位装置1包括第一液压气缸4、导向杆5、支撑底板6、接触板7和缓冲弹簧8，所述第一液压气缸4对称固定安装在支撑底板6的顶端，所述缓冲弹簧8固定安装在支撑底板6的底端中心，所述接触板7固定安装在缓冲弹簧8的底端，所述导向杆5滑动贯穿支撑底板6与接触板7连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人捷螺智能设备(苏州)有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市吴中区越溪街道南官渡路12号4号厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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