广东长信精密设备有限公司罗家伟获国家专利权
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龙图腾网获悉广东长信精密设备有限公司申请的专利一种双抛晶圆的OCR读取装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223471328U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422328466.6,技术领域涉及:G06V30/142;该实用新型一种双抛晶圆的OCR读取装置是由罗家伟;张庆;吴伟平设计研发完成,并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种双抛晶圆的OCR读取装置在说明书摘要公布了:本申请公开了一种双抛晶圆的OCR读取装置,涉及晶圆生产制造技术领域,包括底座、夹持组件以及读取组件;夹持组件固定在底座上,包括位移调节器、旋转驱动器以及至少三个夹持柱;各个夹持柱绕预设圆心圆周分布,且竖直转动设置;各个夹持柱的转动面能够与晶圆的边缘转动接触;位移调节器与至少一个夹持柱连接,用于带动连接的夹持柱相对于预设圆心径向运动,以对晶圆进行夹持;旋转驱动器与至少一个夹持柱连接,用于带动连接的夹持柱转动,以带动夹持的晶圆转动;读取组件用于读取被夹持的晶圆的正面的标识码和或背面的标识码。解决了传统底部吸取定位方式降低晶圆底部的光洁度的问题,且适应性更好。
本实用新型一种双抛晶圆的OCR读取装置在权利要求书中公布了:1.一种双抛晶圆的OCR读取装置,其特征在于,包括底座400、夹持组件100以及读取组件200; 所述夹持组件100固定在所述底座400上,包括位移调节器3、旋转驱动器2以及至少三个夹持柱1; 各个所述夹持柱1绕预设圆心圆周分布,且竖直转动设置; 各个所述夹持柱1的转动面能够与晶圆300的边缘转动接触; 所述位移调节器3与至少一个所述夹持柱1连接,用于带动连接的所述夹持柱1相对于所述预设圆心径向运动,以对晶圆300进行夹持; 所述旋转驱动器2与至少一个所述夹持柱1连接,用于带动连接的所述夹持柱1转动,以带动夹持的晶圆300转动; 所述读取组件200用于读取被夹持的晶圆300的正面的标识码和或背面的标识码。
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