江苏晋誉达半导体股份有限公司丁桃宝获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏晋誉达半导体股份有限公司申请的专利一种曝光机曝光头组件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223471242U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423109635.3，技术领域涉及：G03F9/00；该实用新型一种曝光机曝光头组件是由丁桃宝;黄鹏飞;刘毅;陈愿设计研发完成，并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种曝光机曝光头组件在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种曝光机曝光头组件，曝光安装平台上滑动安装有光刻框架，光刻框架上竖直调节安装有曝光头，光刻框架固定安装有调节底板，调节底板上沿X方向滑动安装有X滑座，X滑座通过X驱动装置驱动滑动，X滑座上沿Y方向沿伸滑动安装有Y滑座，Y滑座上安装有连接架，Y滑座通过Y驱动装置驱动滑动，连接架上设有沿Z方向沿伸滑动安装有Z滑座，Z滑座通过Z驱动装置驱动滑动，Z滑座上安装有跟随Z滑座滑动的对位相机和照明结构，Y滑座上设有竖直调整装置；光刻框架通过直线动力装置驱动滑动；该组件能调节曝光头竖直对准晶圆，同时能改变对位相机的位置，扩大拍摄范围，使对位相机竖直拍摄准确，提高曝光的准确性。
本实用新型一种曝光机曝光头组件在权利要求书中公布了：1.一种曝光机曝光头组件，包括曝光安装平台，所述曝光安装平台上滑动安装有光刻框架，其特征在于：所述光刻框架上通过曝光调节装置竖直调节安装有曝光头，所述光刻框架固定安装有调节底板，所述调节底板上沿X方向滑动安装有X滑座，所述X滑座通过X驱动装置驱动滑动，所述X滑座上沿Y方向沿伸滑动安装有Y滑座，所述Y滑座上安装有连接架，所述Y滑座通过Y驱动装置驱动滑动，所述连接架上设有沿Z方向沿伸滑动安装有Z滑座，所述Z滑座通过Z驱动装置驱动滑动，所述Z滑座上安装有跟随Z滑座滑动的对位相机和照明结构，所述Y滑座上设有调节对位相机和照明结构竖直朝下的竖直调整装置；所述光刻框架通过直线动力装置驱动滑动。
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