张江国家实验室邱照凯获国家专利权
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龙图腾网获悉张江国家实验室申请的专利一种套刻标记及半导体器件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223471238U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422823417.X，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种套刻标记及半导体器件是由邱照凯;刘睿;周绍林;徐锋设计研发完成，并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种套刻标记及半导体器件在说明书摘要公布了：本申请涉及芯片制造技术领域，公开了一种套刻标记及半导体器件，该套刻标记包括：两层套刻标记，两层套刻标记自下而上排布。两层套刻标记中的每层套刻标记包括多组线形套刻标记图案和圆形套刻标记图案，圆形套刻标记图案位于该层套刻标记的中间，多组线形套刻标记图案位于该层套刻标记的四周；其中，多组线形套刻标记图案中的每组线形套刻标记图案包括多条相互平行的标记线；圆形套刻标记图案包括圆心相同、半径不同的圆形标记线。上述套刻标记，采用多组线形套刻标记图案和圆形套刻标记图案组合的方式，提高了半导体器件套刻测量的精度。
本实用新型一种套刻标记及半导体器件在权利要求书中公布了：1.一种套刻标记，其特征在于，所述套刻标记包括两层套刻标记，所述两层套刻标记自下而上排布； 所述两层套刻标记中的每层套刻标记包括多组线形套刻标记图案和圆形套刻标记图案，所述圆形套刻标记图案位于该层套刻标记的中间，所述多组线形套刻标记图案位于该层套刻标记的四周； 其中，所述多组线形套刻标记图案中的每组线形套刻标记图案包括多条相互平行的标记线；所述圆形套刻标记图案包括圆心相同、半径不同的圆形标记线。
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