中国电子科技集团公司第四十八研究所谢于柳获国家专利权
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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第四十八研究所申请的专利一种用于高温液相外延设备的端杯获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223468475U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422943744.9，技术领域涉及：C30B19/06；该实用新型一种用于高温液相外延设备的端杯是由谢于柳设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于高温液相外延设备的端杯在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于高温液相外延设备的端杯，包括端杯本体，端杯本体由依次连接的第一法兰体、连接腔和第二法兰体组成，其中，第一法兰体处于端杯本体的A端，且第一法兰体上设有双密封圈结构的第一密封端口，第一密封端口用做端盖负压密封端口，第二法兰体处于端杯本体的B端，第二法兰体上设有双密封圈结构的第二密封端口，第二密封端口用做高温液相外延设备的反应室负压密封端口；第一法兰体和第二法兰体中均设有内部水道，以实现端杯本体双端水冷。本实用新型具有结构紧凑、稳定性高且有利于提升温度工艺窗口等特点，弥补了现有常规端杯由于冷却效果不足而无法满足高温液相外延设备的工艺要求，进而制约高质量、高性能红外器件发展。
本实用新型一种用于高温液相外延设备的端杯在权利要求书中公布了：1.一种用于高温液相外延设备的端杯，其特征在于，包括端杯本体100，所述端杯本体100由依次连接的第一法兰体101、连接腔102和第二法兰体103组成，其中，第一法兰体101处于端杯本体100的A端，且第一法兰体101上设有双密封圈结构的第一密封端口13，所述第一密封端口13用做端盖负压密封端口，所述第二法兰体103处于端杯本体100的B端，第二法兰体103上设有双密封圈结构的第二密封端口14，所述第二密封端口14用做高温液相外延设备的反应室负压密封端口；所述第一法兰体101和第二法兰体103中分别设有内部水道11，以实现端杯本体100双端水冷。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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