买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉东莞市熙科机电设备有限公司申请的专利晶圆加工贴膜设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120072729B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510232215.4，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权晶圆加工贴膜设备是由樊华;邓金月设计研发完成，并于2025-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆加工贴膜设备在说明书摘要公布了：一种晶圆加工贴膜设备，用于对半导体晶圆进行贴膜加工，其包括机架、安装在机架上的支撑座、安装在机架上并伸入到支撑座上方外周的定位装置，所述机架包括第一面盖，所述第一面盖还设有若干辅助定位柱，晶圆在支撑座上完成位置纠偏后，辅助定位柱与晶圆的外周表面相切；所述定位装置包括导向板、与导向板配合的驱动组件、安装在导向板上端面的套筒组、安装在套筒组上的定位杆组、第一限位块、第二限位块、第一磁吸组件及第二磁吸组件，所述驱动组件带动导向板调位，使导向板移动到第一位置或者第二位置，导向板移动到第一位置时，定位杆组对晶圆进行限位，本发明可以对晶圆进行位置纠偏和固定，保证贴膜质量，有效提高产品在后续工序中的加工质量。

本发明授权晶圆加工贴膜设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加工贴膜设备，用于对半导体晶圆进行贴膜加工，其特征在于，包括机架、安装在机架上的支撑座、安装在机架上并伸入到支撑座上方外周的定位装置，所述机架包括第一面盖，所述第一面盖还设有若干辅助定位柱，辅助定位柱之间在水平面方向呈弧形分布，晶圆在支撑座上完成位置纠偏后，辅助定位柱与晶圆的外周表面相切；所述定位装置包括导向板、与导向板配合的驱动组件、安装在导向板上端面的套筒组、安装在套筒组上的定位杆组、设于导向板两侧的第一限位块和第二限位块、第一磁吸组件及第二磁吸组件，定位杆组包括第一定位杆、第二定位杆及第三定位杆，所述驱动组件带动导向板调位，使导向板移动到与第一限位块贴合的第一位置或者是与第二限位块贴合的第二位置，导向板移动到第一位置时，第一磁吸组件锁紧导向板，第一定位杆、第二定位杆及第三定位杆对晶圆进行限位，导向板移动到第二位置时，第二磁吸组件锁紧导向板，第一定位杆、第二定位杆及第三定位杆松开晶圆； 所述驱动组件包括第一驱动杆及安装在第一驱动杆上的驱动块，所述导向板底部还设有两驱动条，两驱动条呈并排分布，并且，两驱动条沿导向板在导向组件调位方向排列，所述驱动块设于两驱动条之间，其中，两驱动条之间的间隔为L，第一驱动杆的轴心与驱动块端部的间距为R，其中，R＜L＜2R，驱动条在转动过程中，驱动块推动一驱动条移位，另一驱动条进入到驱动块的转动路径上。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东莞市熙科机电设备有限公司，其通讯地址为：523000 广东省东莞市石龙镇西湖温泉南路2号2号楼301室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。