中国电子技术标准化研究院赵昭获国家专利权
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龙图腾网获悉中国电子技术标准化研究院申请的专利一种套刻精度测量用高精度检测装置及其检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118431100B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410522412.5，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种套刻精度测量用高精度检测装置及其检测方法是由赵昭设计研发完成，并于2024-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种套刻精度测量用高精度检测装置及其检测方法在说明书摘要公布了：本发明属于半导体检测技术领域，且公开了一种套刻精度测量用高精度检测装置及其检测方法，包括检测座和光学显微镜，所述检测座的顶面分别开设有适配腔、出料口和排液口，所述检测座的顶面开设有吸气孔。本发明通过在定位检测后，通过复位移出的拨料架沿着检测座顶面将自动解除固定的晶圆片拨动至另一侧的出料口完成自动出料，实际针对晶圆样品的套刻精度测量用检测，通过快速定位、同步吸附固定和复位拨动出料，连续快速完成晶圆样品的检测操作，晶圆样品上料定位、检测固定和检测玩自动出料一气呵成，操作简单，尤其针对多组晶圆样品的依次检测，大大提高了连续检测过程中的效率，实现快速检测处理，无需反复操作调节，使用效果好。
本发明授权一种套刻精度测量用高精度检测装置及其检测方法在权利要求书中公布了：1.一种套刻精度测量用高精度检测装置，包括检测座1和光学显微镜，其特征在于：所述检测座1的顶面分别开设有适配腔2、出料口3和排液口4，所述检测座1的顶面开设有吸气孔5，所述检测座1的内部开设有与吸气孔5相连通的负压腔6，所述适配腔2的内部活动套接有拨料组件9，所述拨料组件9的底部固定设有转向动力组件10，所述检测座1的底部设有升降动力组件11，所述检测座1的内部活动套接有联动组件12，所述联动组件12与转向动力组件10固定连接，所述检测座1的顶面固定连接有限位挡片13，所述限位挡片13的顶面固定连接有快洗组件14； 所述拨料组件9包括有定位架91、拨料架92、转动轴93、扭簧94和齿轮一95，所述拨料架92摆动装配在定位架91的顶部，所述吸气孔5、排液口4和出料口3均位于拨料架92的摆动路径上，所述齿轮一95与转向动力组件10啮合连接。
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